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基于黑硅吸收层及多层组合膜结构的红外探测器敏感元件

930   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-01 00:30:09
本发明涉及红外气体探测器的敏感元件，具体是一种基于黑硅吸收层及多层组合膜结构的红外探测器敏感元件。进一步提高了热释电薄膜型红外气体探测器的检测性能。由上至下包括红外敏感吸收层、上电极、热释电薄膜组合层、下电极、热隔离层、高热阻抗基底；红外敏感吸收层为具有锥状森林形貌结构的黑硅吸收层，热释电薄膜组合层为若干层PT薄膜和PZT薄膜交替设置构成的PT/PZT/PT～PT/PZT/PT多层薄膜结构；结构及加工工艺合理，具备良好的热吸收性能和热响应性能，能用于构建高性能红外气体探测器，满足环境安全、煤矿生产安全、以及危化品气体储运、煤气管道防泄、森林火灾防护、工业安全生产等领域中的监测需要。
声明：
“基于黑硅吸收层及多层组合膜结构的红外探测器敏感元件” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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