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二次离子探针样品靶的制备方法

796   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-02-28 01:00:09
本发明属于二次离子探针分析测试领域,具体涉及一种二次离子探针样品靶的制备方法,主要用于提高样品颗粒的平整度以及降低样品靶的放气率。样品靶主要有玻璃片,环氧树脂以及样品颗粒组成。所述方法以圆形玻璃片为主体,首先在玻璃片上切割出数条凹槽,然后将样品颗粒放入凹槽中,进而将环氧树脂注入凹槽中进行固化,固化完成将样品靶进行细磨,抛光。本发明优势主要有两点:1.由于环氧树脂只存在于玻璃的凹槽中,所以样品靶的放气率很低,有利于提高样品室的真空;2.由于玻璃与矿物颗粒(锆石,磷灰石等)的硬度相近,所以在抛光过程中有效保证了矿物颗粒,环氧树脂以及玻璃处于相同平面,有效提高矿物颗粒边缘的平整度。
声明:
“二次离子探针样品靶的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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