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镓酸镧薄膜及其制造方法及相应的镓酸镧薄膜光电探测器

912   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-02-28 01:00:09
本发明提供了一种镓酸镧薄膜光电探测器，以及相应的钙钛矿结构镓酸镧薄膜及其制造方法。所述的探测器包括依次叠置的衬底、镓酸镧薄膜和电极，其中镓酸镧薄膜为(00l)取向的钙钛矿结构LaGaO3外延薄膜，衬底为LaAlO3衬底。本发明的工艺可控性强、容易操作。本发明制得的镓酸镧薄膜表面致密、厚度稳定均一，适于大面积制备、且重复性好。本发明制得的光电探测器暗电流极小、紫外可见抑制比高、响应度高、且制造工艺简单。
声明：
“镓酸镧薄膜及其制造方法及相应的镓酸镧薄膜光电探测器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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