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可用于高速光电探测的Bi(Fe,Zn)O3/NiO全氧化物薄膜异质结

691   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-02-28 01:00:06
本发明提供一种基于锌掺杂铁酸铋/氧化镍材料的全氧化物薄膜异质结，属于半导体器件技术领域。本发明公开了一种精确制备锌掺杂铁酸铋/氧化镍薄膜异质结的方法，所述的异质结采用溶胶凝胶技术，可精确控制各层元素化学计量比、同时保证各层薄膜良好的结晶性及均匀致密的形貌，可控性强、工艺简单、制备效率高。本发明实现了锌掺杂铁酸铋与氧化镍的良好匹配、耦合形成异质结结构，利用铁酸铋极化电场和异质结内建电场相结合促进光生载流子输运，获得可见光范围内高速光电响应特性，可用于制作相关半导体光电探测器件，对氧化物钙钛矿薄膜在半导体器件领域的实用化具有重要意义。
声明：
“可用于高速光电探测的Bi(Fe,Zn)O3/NiO全氧化物薄膜异质结” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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