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柔性光电探测器件的制备方法及柔性光电探测器件

893   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-02-28 00:50:06
本发明提供的柔性光电探测器件的制备方法，通过飞秒激光对柔性透明基底的下表面进行微纳结构化加工，实现对其上表面的近场光学相干增强效应；然后在此上表面沉积钙钛矿薄膜，再在沉积有钙钛矿薄膜的表面蒸镀电极获取柔性光电探测器件，本发明提供的柔性光电探测器件的制备方法，在未经飞秒激光加工的光滑表面上沉积制备钙钛矿薄膜，使光散射界面与钙钛矿薄膜材料界面分离，这样既能使得基底材料实现近场光学增强、提高光活性层的光吸收和量子效率，又能保证光活性层的致密性和完整性，减少材料缺陷对器件性能的不利影响，工艺简单。
声明：
“柔性光电探测器件的制备方法及柔性光电探测器件” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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