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溅射靶材用硅硼母合金及其制备方法

797   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:50:26
本发明提供一种溅射靶材用硅硼母合金及其制备方法，硅硼母合金为采用高纯硅粉和高纯硼粉为原料，依次经高能球磨、造粒后采用粉末冶金压制成形技术和真空烧结制备的所得产物。本发明制备的硅硼母合金中具有含硼量高、颗粒分布均匀、杂质含量低、粉末活性高、易于掺杂等特点，并且，掺杂该种硅硼母合金制备的多晶硅靶材，较制备的硅靶材具有产品出成率高，电阻率分布均匀等特点。
声明：
“溅射靶材用硅硼母合金及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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