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升级冶金级硅原料的质量控制方法

925   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:45:01
本发明提供一种用于确定UMG-Si原料批中的硼和磷浓度的质量控制方法。通过来自于UMG-Si原料批的熔化UMG-Si的定向固化形成硅测试锭。测量所述硅测试锭的自上而下的电阻率。然后，映射所述硅测试锭的电阻率分布。基于所述硅测试锭的所述电阻率分布，计算所述UMG-Si硅原料批的磷和硼浓度。此外，可以在多炉腔晶体生长器中同时生长多个测试锭，其中每个测试锭对应于一个UMG-Si原料批。
声明：
“升级冶金级硅原料的质量控制方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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