本发明涉及一种超纯亚微米级硅微粉泡沫化的制备方法,其特征在于:(1)选取高纯石英砂为原料;(2)用擦洗机洗矿,用
过滤机脱水,清洗介质为去离子水,得到高纯石英砂;(3)在搅拌磨中湿法磨矿,分散介质为去离子水,加1~6%
硅烷偶联剂,得D
50≤0.8μm、D
100≤8μm料浆;(4)将浆料加入分散机,加1~5%起泡剂、0.25~1.0%泡沫稳定剂、0.25~1.0%泡沫粘度促进剂,搅拌形成稳定的泡沫化料浆;(5)将泡沫化料浆加到烘干机,烘干温度≤200℃,随后加到气流粉碎机中解聚分级即可。本发明优点:有效解决干燥过程中粉体团聚的行业性难题,省略了必不可少的打散工艺,工艺简单、成本低;超纯亚微米硅微粉D
50≤0.5μm、D
100≤5μm,可用于EMC及CCL等高端电子领域。
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