权利要求书： 1.一种全自动晶圆分选机，其特征在于：包括箱体（1），箱体（1）内设置有放置台（11），放置台（11）上设置有用于分选晶粒的分选机构（3），放置台（11）上设置有夹持机构（2），夹持机构（2）上设置有夹具一（241）和夹具二（242），夹具一（241）和夹具二（242）用于在箱体（1）内移动并将晶圆移动至分选机构（3）中，放置台（11）上可拆卸连接有未分类片料匣（4）和已分类空/满盘料匣（5），夹持机构（2）用于将未分类片料匣（4）中的晶圆移动至分选机构（3）中，夹持机构（2）用于将分选后的晶圆移动至已分类空/满盘料匣（5）中，所述夹持机构（2）包括X轴动力机构（21）、Y轴动力机构（22）、Z轴动力机构一（231）和Z轴动力机构二（232），X轴动力机构（21）悬空设置在放置台（11）上方，Y轴动力机构（22）连接在X轴动力机构（21）上，X轴动力机构（21）用于带动Y轴动力机构（22）滑动，Y轴动力机构（22）的滑动方向与放置台（11）平行，Y轴动力机构（22）上设置有基架（230），Y轴动力机构（22）用于带动基架（230）滑动，基架（230）的滑动方向与放置台（11）平行，基架（230）的滑动方向与X轴动力机构（21）滑动方向垂直，Z轴动力机构一（231）和Z轴动力机构二（232）设置在基架（230）上，Z轴动力机构一（231）与夹具一（241）连接，夹具一（241）通过Z轴动力机构一（231）沿靠近和远离放置台（11）的方向滑动，Z轴动力机构二（232）与夹具二（242）连接，夹具二（242）通过Z轴动力机构二（232）沿靠近和远离放置台（11）的方向滑动，所述基架（230）上设置有保护套环（25），保护套环（25）与基架（230）之间存在空隙，夹具一（241）和夹具二（242）设置在保护套环（25）内，所述基架（230）上设置有多个导向转轮（26），每个导向转轮（26）包括连接板（261）和多个轮体（262），轮体（262）转动连接在连接板（261）上，连接板（261）设置在基架（230）上，轮体（262）用于抵接在晶圆侧壁上。2.根据权利要求1所述的一种全自动晶圆分选机，其特征在于：所述X轴动力机构（21）设置为直线电机，直线电机包括定子（211）和动子（212），定子（211）设置在
声明：
“全自动晶圆分选机” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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编辑：管理员
来源：深圳市优界科技有限公司
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2025年05月16日 ~ 18日 
