权利要求书: 1.一种太阳能电池,其特征在于,所述太阳能电池包括依次叠置的背场层(20)、基层(30)和发射层(40),所述背场层(20)与所述发射层(40)之间具有PN结,所述基层(30)为超晶格结构层,所述超晶格结构层包括多个叠置的周期结构,各所述周期结构包括叠置的三个子结构层,三个所述子结构层中的一个所述子结构层包括GaAs,另一个所述子结构层包括InxGa1?xAs,再一个所述子结构层包括InyGa1?yP,其中,0
沿靠近所述发射层(40)的方向上,一个所述周期结构中的三个所述子结构层依次为第一子结构层(31)、第二子结构层(32)和第三子结构层(33),包括GaAs的所述子结构层为所述第一子结构层(31),包括InxGa1?xAs的所述子结构层为所述第二子结构层(32),包括InyGa1?yP的所述子结构层为所述第三子结构层(33);
一个所述周期结构中,包括GaAs的所述子结构层的厚度在2nm~50nm之间,包括InxGa1?xAs的所述子结构层的厚度在1~15nm之间,包括InyGa1?yP的所述子结构层的厚度在2~30nm之间。
2.根据权利要求1所述的太阳能电池,其特征在于,所述周期结构有2~200个,所述基层(30)的厚度在100~5000nm之间。
3.根据权利要求1所述的太阳能电池,其特征在于,至少部分所述周期结构还包括第四子结构层(34),所述第四子结构层(34)位于所述第三子结构层(33)的远离所述第二子结构层(32)的表面上,所述第四子结构层(34)包括InzGa1?zAs,其中,0
4.根据权利要求3所述的太阳能电池,其特征在于,各所述周期结构中,包括InyGa1?yP的所述子结构层为第三子结构层(33),与所述发射层(40)距离最小的所述周期结构中不包括所述第四子结构层(34);所述第四子结构层(34)的厚度在1~15nm之间。
5.根据权利要求1所述的太阳能电池,其特征在于,0.3
6.一种太阳能电池的制作方法,用于制作权利要求1所述的太阳能电池,其特征在于,所述制作方法包括:在衬底的表面上设置背场层;在所述背场层的远离所述衬底的表面上叠层设置多个周期结构,形成基层,各所述周期结构包括叠置的三个子结构层,各所述周期结构中的三个所述子结构层中的一个所述子结构层包括
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我是此专利(论文)的发明人(作者)