用于抛光机的行星轮的承载推车

权利要求书： 1.一种用于抛光机的行星轮的承载推车，其特征在于，包括：

储液箱，所述储液箱限定出适于存放清洗液的储液腔，所述行星轮适于放置在所述储液腔内，所述储液箱设有多个气孔，每个所述气孔与所述储液腔连通；

水道件，所述水道件设于所述储液箱的外侧壁，所述水道件与所述储液箱之间限定出水道，所述水道与所述气孔连通，所述水道件设有与所述水道连通的进气口；

进气室，所述进气室的一端与所述进气口连通，所述进气室的另一端设有单向阀，所述气孔设于所述储液腔的底壁，所述水道件位于所述储液箱的下方，所述进气口设于所述水道件的底壁，所述进气室在上下方向上延伸，所述进气室的下端通过软管与所述进气口连通，所述进气室的上端设有所述单向阀，所述单向阀另一端设有适于与外置气枪配合的对接部。

2.根据权利要求1所述的用于抛光机的行星轮的承载推车，其特征在于，所述储液箱的底壁设有多个第一水槽，多个所述第一水槽纵横交错设置，所述第一水槽与所述气孔连通，所述水道件的顶壁设有多个第二水槽，多个所述第二水槽纵横交错设置，多个所述第一水槽和多个所述第二水槽在上下方向一一对应以限定出所述水道。

3.根据权利要求1所述的用于抛光机的行星轮的承载推车，其特征在于，还包括：多个隔板，多个所述隔板将所述储液腔分隔成多个储液子腔，每个所述隔板设有挂钩组件，所述行星轮具有通孔，所述挂钩组件适于与所述通孔的外边沿卡接配合。

4.根据权利要求3所述的用于抛光机的行星轮的承载推车，其特征在于，所述储液腔的侧壁设有滑槽和滑轨中的一个，所述隔板设有所述滑槽和所述滑轨中的另一个，所述滑轨和所述滑槽上下滑移配合。

5.根据权利要求3所述的用于抛光机的行星轮的承载推车，其特征在于，所述挂钩组件包括：连接板，所述连接板与所述隔板可拆卸地相连，所述连接板设有避让缺口；

挂钩件，所述挂钩件可转动地设于所述避让缺口处，所述挂钩件具有工作状态和隐藏状态，在所述工作状态，所述挂钩件转动至水平位置以伸出所述避让缺口；在所述隐藏状态，所述挂钩件转动至竖直位置以位于所述避让缺口内。

6.根据权利要求1所述的用于抛光机的行星轮的承载推车，其特征在于，所述储液箱包括：箱体，所述箱体的顶部具有敞开口；

箱盖，所述箱盖可拆卸地设于所述箱体以限定出所述储液腔。

7.根据权利要求6所述的用于抛光机的行星轮的承载推车，其特征在于，所述箱体邻近所述敞开口处设有注水部，所述注水部具有过渡面，所述过渡面与所述箱体的底壁在上下方向上间隔开。

8.根据权利要求6所述的用于抛光机的行星轮的承载推车，其特征在于，所述箱体的侧壁设有存放栏，所述存放栏和所述箱体之间限定出存放口，所述箱盖包括盖板和把手部，所述把手部设于所述盖板的中部，所述盖板的部分穿过所述存放口且所述把手部与所述存放栏抵接。

9.根据权利要求1?8中任一项所述的用于抛光机的行星轮的承载推车，其特征在于，还包括：排水阀，所述储液腔的底部设有排水口，所述排水阀设于所述排水口处以打开或关闭所述排水口。

说明书： 用于抛光机的行星轮的承载推车技术领域[0001] 本发明涉及车间存储设备领域，尤其是涉及一种用于抛光机的行星轮的承载推车。

背景技术[0002] 目前电子级单晶硅片是集成电路制造必要的生产要素，长期以来依赖进口，尤其主流的12寸大硅片缺口很大。我国在大硅片的研究还在初步阶段，为了做好大硅片的高效

保质生产，稳定的抛光设备和使用方便的工具是必不可少的。

[0003] 相关技术中，在抛光机停机不使用时，抛光机的行星轮固定挂载到抛光机旁，然而因为硅片加工过程中会使用到多种抛光液和抛光垫等原辅料，行星轮上容易残留抛光液和

抛光垫细微碎屑等杂质，影响制程工艺和产品质量。

发明内容[0004] 本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明在于提出一种用于抛光机的行星轮的承载推车，在行星轮不使用时，可实现对行星轮的有效清洁和可

靠存放，有利于保证制程工艺和产品质量。

[0005] 根据本发明实施例的用于抛光机的行星轮的承载推车，包括：储液箱，所述储液箱限定出适于存放清洗液的储液腔，所述行星轮适于放置在所述储液腔内，所述储液箱设有

多个气孔，每个所述气孔与所述储液腔连通；水道件，所述水道件设于所述储液箱的外侧

壁，所述水道件与所述储液箱之间限定出水道，所述水道与所述气孔连通，所述水道件设有

与所述水道连通的进气口；进气室，所述进气室的一端与所述进气口连通，所述进气室的另

一端设有单向阀。

[0006] 根据本发明实施例的用于抛光机的行星轮的承载推车，在行星轮不使用时，可将行星轮浸泡在清洗液中，将外置气枪与进气室相连通，以加压鼓泡对行星轮进行清洗，从而

实现对行星轮的有效清洁和可靠存放，有利于保证制程工艺和产品质量，同时，通过在进气

室内的另一端设置单向阀，有利于防止储液腔内的清洗液在液体重力和大气压的作用下通

过进气室流出，有利于减少安全隐患。

[0007] 在本发明的一些实施例中，所述气孔设于所述储液腔的底壁，所述水道件位于所述储液箱的下方，所述进气口设于所述水道件的底壁，所述进气室在上下方向上延伸，所述

进气室的下端通过软管与所述进气口连通，所述进气室的上端设有所述单向阀。

[0008] 在本发明的一些实施例中，所述储液箱的底壁设有多个第一水槽，多个所述第一水槽纵横交错设置，所述第一水槽与所述气孔连通，所述水道件的顶壁设有多个第二水槽，

多个所述第二水槽纵横交错设置，多个所述第一水槽和多个所述第二水槽在上下方向一一

对应以限定出所述水道。

[0009] 在本发明的一些实施例中，所述承载推车还包括：多个隔板，多个所述隔板将所述储液腔分隔成多个储液子腔，每个所述隔板设有挂钩组件，所述挂钩组件适于与所述行星

轮的所述通孔的外边沿卡接配合。

[0010] 在本发明的一些实施例中，所述储液腔的侧壁设有滑槽和滑轨中的一个，所述隔板设有所述滑槽和所述滑轨中的另一个，所述滑轨和所述滑槽上下滑移配合。

[0011] 在本发明的一些实施例中，所述挂钩组件包括：连接板，所述连接板与所述隔板可拆卸地相连，所述连接板设有避让缺口；挂钩件，所述挂钩件可转动地设于所述避让缺口

处，所述挂钩件具有工作状态和隐藏状态，在所述工作状态，所述挂钩件转动至水平位置以

伸出所述避让缺口；在所述隐藏状态，所述挂钩件转动至竖直位置以位于所述避让缺口内。

[0012] 在本发明的一些实施例中，所述储液箱包括：箱体，所述箱体的顶部具有敞开口；箱盖，所述箱盖可拆卸地设于所述箱体。

[0013] 在本发明的一些实施例中，所述箱体邻近所述敞开口处设有注水部，所述注水部具有过渡面，所述过渡面与所述箱体的底壁在上下方向上间隔开。

[0014] 在本发明的一些实施例中，所述箱体的侧壁设有存放栏，所述存放栏和所述箱体之间限定出存放口，所述箱盖包括盖板和把手部，所述把手部设于所述盖板的中部，所述盖

板的部分穿过所述存放口且所述把手部与所述存放栏抵接。

[0015] 在本发明的一些实施例中，所述承载推车还包括：排水阀，所述储液腔的底部设有排水口，所述排水阀设于所述排水口处以打开或关闭所述排水口。

[0016] 本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明[0017] 图1是根据本发明一个实施例的承载推车的立体图；[0018] 图2是图1中所示的承载推车的主视图；[0019] 图3是图2中A?A处的剖视示意图；[0020] 图4是图3中B处的放大示意图；[0021] 图5是图3中C处的放大示意图；[0022] 图6是图2的俯视示意图；[0023] 图7是图6中D处的放大示意图；[0024] 图8是根据本发明一个实施例的底板的平面示意图；[0025] 图9是根据本发明一个实施例的挂钩组件的立体示意图；[0026] 图10是根据本方面一个实施例的行星轮的结构示意图。[0027] 附图标记：[0028] 承载推车100；[0029] 储液箱10；储液腔11；储液子腔111；气孔12；第一水槽13；滑槽14；[0030] 箱体15；敞开口151；注水部152；注水空间1521；过渡面1522；存放栏153；存放口154；前侧板155；后侧板156；左侧板157；排水口1571；右侧板158；底板159；

[0031] 箱盖16；盖板161；把手部162；[0032] 水道件20；水道21；第二水槽22；进气口23；[0033] 进气室30；软管31；[0034] 单向阀40；[0035] 隔板50；滑轨51；减重孔52；[0036] 挂钩组件60；连接板61；避让缺口611；挂钩件62；配合凹槽621；第一导向面622；第二导向面623；转轴63；

[0037] 排水阀70；[0038] 滚轮80；手推部90；[0039] 行星轮200；通孔201。具体实施方式[0040] 下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附

图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

[0041] 下文的公开提供了许多不同的实施例或例子用来实现本发明的不同结构。为了简化本发明的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且

目的不在于限制本发明。此外，本发明可以在不同例子中重复参考数字和/或字母。这种重

复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施例和/或设置之间的关系。此

外，本发明提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到

其他工艺的可应用于性和/或其他材料的使用。

[0042] 下面参考图1?图10描述根据本发明实施例的用于抛光机的行星轮200的承载推车100。

[0043] 参照图1?图3所示，根据本发明实施例的用于抛光机的行星轮200的承载推车100，承载推车100可以包括：储液箱10、水道件20、进气室30和单向阀40。需要说明的是，抛光机

和承载推车100均设置在无尘车间中。

[0044] 其中，抛光机可以为双面抛光机，双面抛光机是对硅片表面加工制造超精细平坦化的设备，其可控制在纳米级别，行星轮200是双面抛光机的附属零件，其基底材质是特殊

的不足0.8mm的超薄不锈钢材料，表面是利用物理气相沉积的一层5um厚度的超薄类金刚石

涂层，内衬是PU66材质的树脂材料，由于其与硅片直接接触，耐磨损但是硬度较低，总而言

之，行星轮200具有昂贵，易损，易变形的特征。

[0045] 参照图1?3所示，储液箱10限定出适于存放清洗液的储液腔11，行星轮200适于放置在储液腔11内，储液箱10设有多个气孔12(参照图6)，每个气孔12与储液腔11连通，水道

件20设于储液箱10的外侧壁，水道件20与储液箱10之间限定出水道21，水道21与气孔12连

通，水道件20设有与水道21连通的进气口23(参照图4)，进气室30的一端与进气口23连通，

进气室30的另一端设有单向阀40。例如，单向阀40的另一端还设有适于气枪配合的对接部，

在气枪与进气室30对接后，单向阀40位于气枪和进气口23之间。可选地，清洗液为纯水。

[0046] 具体而言，在行星轮200不使用时，可将使用后的行星轮200浸泡在储液腔11的清洗液中，然后将气枪与进气室30对接，气枪向进气室30加压以供气，气体通过水道件20流向

气孔12，最后在储液箱10内产生气泡，可以加快行星轮200周围的清洗液的流速，有利于提

高对行星轮200的清洁效果，并且通过湿法清洗并保护行星轮200，可有效降低行星轮200的

破损风险，有利于降低生产成本，同时，通过在进气室30内的另一端设置单向阀40，当承载

推车100完成对行星轮200的清洗、将气枪从进气室30上取下后，可防止储液腔11内的清洗

液在液体重力和大气压的作用下通过进气室30流出，有利于减少安全隐患。

[0047] 有鉴于此，根据本发明实施例的用于抛光机的行星轮200的承载推车100，在行星轮200不使用时，可将行星轮200浸泡在清洗液中，将外置气枪与进气室30相连通，以加压鼓

泡对行星轮200进行清洗，从而实现对行星轮200的有效清洁和可靠存放，有利于保证制程

工艺和产品质量，同时，通过在进气室30内的另一端设置单向阀40，有利于防止储液腔11内

的清洗液在液体重力和大气压的作用下通过进气室30流出，有利于减少安全隐患。

[0048] 在本发明的一些实施例中，参照图2?图4所示，气孔12设于储液腔11的底壁，水道件20位于储液箱10的下方，进气口23设于水道件20的底壁(参照图3和图4)，进气室30在上

下方向上延伸，进气室30的下端通过软管31与进气口23连通，进气室30的上端设有单向阀

40。可以理解的是，通过将水道件20设置在储液箱10的下方，由气枪通入的加压气体可以自

下而上地流向多个气孔12，从而有利于使得整个储液腔11内的清洗液都发生鼓泡，有利于

提高对行星轮200整体的清洗效果。当然，本发明不限于此，气孔12还可以设于储液箱10的

下述前侧板155、后侧板156、左侧板157、右侧板158，水道件20的设置随气孔12的位置而相

应调整变化。

[0049] 在本发明的一些实施例中，参照图3、图4和图8所示，储液箱10的底壁设有多个第一水槽13，多个第一水槽13纵横交错设置，第一水槽13与气孔12连通(参照图8)，水道件20

的顶壁设有多个第二水槽22，多个第二水槽22纵横交错设置，多个第一水槽13和多个第二

水槽22在上下方向一一对应以限定出水道21(参照图4)。可以理解的是，通过多个第一水槽

13和多个第二水槽22在上下方向一一对应以限定出水道21，可以使得水道21在水平面上呈

纵横交错的形态，在外置气枪加压时，有利于保证与水道21对应的多个气孔12均匀出气，从

而保证储液腔11的底部均匀发泡。

[0050] 例如，参照图1、图4和图8所示，储液箱10可以包括前侧板155、后侧板156、左侧板157、右侧板158和底板159，底板159的底壁设有五个横向延伸的第一水槽13和三个纵向延

伸的第一水槽13，五个横向延伸的第一水槽13和三个纵向延伸的第一水槽13纵横交错设

置，每个第一水槽13设有多个均匀间隔开设置的气孔12，水道件20的顶壁设有五个横向延

伸的第二水槽22和三个纵向延伸的第二水槽22，五个横向延伸的第二水槽22和三个纵向延

伸的第二水槽22纵横交错设置，八个第一水槽13和八个第二水槽22在上下方向一一对应以

限定出水道21(参照图4)，水道21的进气口23与位于中央的纵向延伸的第一水槽13对应设

置。

[0051] 在本发明的一些实施例中，参照图1所示，承载推车100还包括：多个隔板50，多个隔板50将储液腔11分隔成多个储液子腔111，每个隔板50设有挂钩组件60，行星轮200具有

通孔201(参照图10)，挂钩组件60适于与通孔201的外边沿卡接配合。可以理解的是，通过在

每个隔板50设置挂钩组件60，挂钩组件60可与行星轮200的通孔201的外边沿卡接配合，可

实现对行星轮200的可靠定位，有利于避免多个行星轮200之间发生碰撞损坏。

[0052] 在本发明的一些实施例中，参照图6和图7所示，储液腔11的侧壁设有滑槽14和滑轨51中的一个，隔板50设有滑槽14和滑轨51中的另一个，滑轨51和滑槽14上下滑移配合。例

如，结合图6和图7所示，储液腔11的左右侧壁分别设有在上下方向延伸的滑槽14，隔板50的

左右两端设有滑轨51，两个滑槽14与两个滑轨51一一对应地上下滑移配合。可以理解的是，

通过隔板50与储液腔11的侧壁滑移配合，隔板50可单独提拉，方便识别不同的行星轮200的

编号，避免在查看行星轮200的编号时触碰到行星轮200，同时方便对隔板50进行单独清洗，

有利于避免隔板50积累污垢。

[0053] 可选地，在一些示例中，参照图3所示，隔板50设有多个减重孔52，相邻的储液子腔111之间通过减重孔52连通。由此，可以减少隔板50的重量，便于工人提拉隔板50，同时有利

于减少用料，降低隔板50的使用成本。

[0054] 在本发明的一些实施例中，参照图9所示，挂钩组件60包括：连接板61和挂钩件62，连接板61与隔板50可拆卸地相连，连接板61设有避让缺口611，挂钩件62可转动地设于避让

缺口611处，挂钩件62具有工作状态和隐藏状态，在工作状态，挂钩件62转动至水平位置以

伸出避让缺口611；在隐藏状态，挂钩件62转动至竖直位置以位于避让缺口611内。可以理解

的是，通过使得挂钩件62具有工作状态和隐藏状态，在需要将行星轮200取出时，可以将挂

钩件62由工作位置切换到隐藏位置，方便行星轮200的存放和取用，有利于防止行星轮200

与储液箱10和挂钩组件60之间发生剐蹭。

[0055] 可选地，在一些示例中，参照图9所示，挂钩件62大体形成为长方体状，挂钩件62的上表面设有配合凹槽621，参照图5所示，配合凹槽621具有第一导向面622和第二导向面

623，第一导向面622和第二导向面623之间呈钝角设置，且当挂钩件62转动至工作状态，第

一导向面622与水平面之间的夹角小于第二导向面623与水平面之间的夹角。由此，既方便

行星轮200的放入和取出，又可以实现对行星轮200的可靠定位，便于行星轮200利自身重力

垂放，操作方便。

[0056] 例如，参照图9所示，连接板61与隔板50通过螺纹紧固件可拆卸地相连，连接板61设有避让缺口611，避让缺口611的形状与挂钩件62的形状相匹配，挂钩件62与连接板61通

过转轴63可转动地相连。

[0057] 在本发明的一些实施例中，参照图1所示，储液箱10包括：箱体15和箱盖16，箱体15的顶部具有敞开口151，箱盖16可拆卸地设于箱体15以限定出储液腔11。可以理解的是，通

过将箱盖16可拆卸设于箱体15，便于行星轮200的安放以及防止外界杂物进入储液腔11内，

同时，可实现对行星轮200的可靠保护，可进一步降低行星轮200的破损风险，有利于降低生

产成本。

[0058] 在本发明的一些实施例中，参照图1和图3所示，箱体15邻近敞开口151处设有注水部152，注水部152具有过渡面1522，过渡面1522与箱体15的底壁在上下方向间隔开。例如，

箱体15的部分外侧壁向外凹入以形成注水部152。可以理解的是，通过设置注水部152，在注

水时，纯水顺着先流向过渡面1522，有利于减少水流冲击，防止水压过高造成储液腔11内的

拼接内衬(例如隔板50)错位甚至造成损伤，有利于提高储液箱10工作的可靠性。

[0059] 例如，参照图1和图3所示，注水部152的前侧还设有挂钩组件60，挂钩组件60的连接板61的上表面高度高于过渡面1522的高度且小于注水部152的上表面的高度，挂钩组件

60和注水部152之间限定出长方体状的注水空间1521，在注水时，纯水先流向过渡面1522，

接着经过挂钩组件60流向储液腔11内以起到缓冲水压的效果。

[0060] 在本发明的一些实施例中，参照图1和图2所示，箱体15的侧壁设有存放栏153，存放栏153和箱体15之间限定出存放口154，箱盖16包括盖板161和把手部162，把手部162设于

盖板161的中部，盖板161的部分穿过存放口154且把手部162与存放栏153抵接。例如，存放

栏153可以形成为条状，存放栏153的左右两端分别与箱体15的前侧板155相连，存放栏153

的中部与前侧板155间隔开，当箱盖16收纳在存放栏153时，盖板161的部分穿过存放口154

且把手部162与存放栏153抵接。由此，在箱盖16打开箱体15时，可以实现对箱盖16的可靠放

置，且操作方便。

[0061] 在本发明的一些实施例中，参照图2和图6所示，承载推车100还包括：排水阀70，储液腔11的底部设有排水口1571，排水阀70设于排水口1571处以打开或关闭排水口1571。可

以理解的是，通过在储液腔11的底部设置排水阀7，可以方便排空和更换清洗液，有利于进

一步保证对行星轮200的可靠清洗和存放。

[0062] 在一些可选的示例中，参照图1所示，储液箱10的底部还设有滚轮80，例如，如图1所示，滚轮80可以为四个，由此，工人在将行星轮200装载结束后，通过滚轮80的转动，可将

承载推车100推动到指定位置。

[0063] 可选地，每个滚轮80还对应设有刹车件，工人可通过刹车件控制滚轮80锁定或者解锁，从而当用户将承载推车100推动到指定位置时，可通过刹车件控制滚轮80锁定，有利

于防止承载推车100自由移动，从而可减少安全隐患。

[0064] 进一步地，参照图1所示，储液箱10上还设有手推部90，工人可通过手推部90将承载推车100推动到指定位置，操作方便。

[0065] 根据本发明实施例的承载推车100的其他结构以及操作对于本领域普通技术人员而言都是已知的，这里不再详细描述。

[0066] 在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必

须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

[0067] 此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者

隐含地包括一个或者更多个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，

除非另有明确具体的限定。

[0068] 在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连

接，也可以是电连接，还可以是通信；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以

是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可

以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

[0069] 在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在

第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示

第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第

一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。

[0070] 在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特

点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不

必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任

一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技

术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结

合和组合。

[0071] 尽管已经示出和描述了本发明的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本发明的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本

发明的范围由权利要求及其等同物限定。