扩散炉的尾气处理装置

900 编辑：中冶有色技术网来源：潍坊东方宏业新能源科技有限公司

2023-12-22 11:36:32

权利要求书： 1.一种扩散炉的尾气处理装置，包括扩散炉本体(1)，其特征在于，所述扩散炉本体(1)一侧安装有尾气管(2)，尾气管(2)另一端安装在输送管(3)上，所述输送管(3)一侧安装有风机(4)，风机(4)另一端安装有压缩机(5)，压缩机(5)另一端安装有尾气储存罐(6)，尾气储存罐(6)另一侧安装有活性炭吸附组件(7)，所述活性炭吸附组件(7)用于处理尾气，活性炭吸附组件(7)一侧安装有排气管(8)，所述输送管(3)一端滑动连接有第一挡板(13)，输送管(3)一侧安装有电动推杆(11)，所述电动推杆(11)用于移动第一挡板(13)，输送管(3)一侧内壁滑动连接有第二挡板(14)，第一挡板(13)一侧固定连接有第一齿条(17)，第二挡板(14)一侧固定连接有第二齿条(21)，输送管(3)内转动连接有齿轮(19)，所述第一齿条(17)、第二齿条(21)均与齿轮(19)啮合。

2.根据权利要求1所述的一种扩散炉的尾气处理装置，其特征在于，所述电动推杆(11)输出端安装有连接板(12)，连接板(12)一侧固定连接在第一挡板(13)上，第一挡板(13)一侧固定连接有第一连接杆(16)，第一齿条(17)一端固定连接在第一连接杆(16)上，第二挡板(14)一侧固定连接有第二连接杆(20)，第二齿条(21)一端固定连接在第二连接杆(20)上。

3.根据权利要求2所述的一种扩散炉的尾气处理装置，其特征在于，所述第二挡板(14)一侧固定连接有两个第二滑块(23)，输送管(3)一侧内壁开设有两个第三滑槽(27)，第三滑槽(27)横截面呈T型，两个第二滑块(23)分别滑动在对应的第三滑槽(27)内。

4.根据权利要求3所述的一种扩散炉的尾气处理装置，其特征在于，所述第二齿条(21)一侧两端均固定连接有第一滑块(22)，输送管(3)一侧内壁开设有第四滑槽(28)，第四滑槽(28)横截面呈T型，两个第一滑块(22)均滑动在第四滑槽(28)内。

5.根据权利要求4所述的一种扩散炉的尾气处理装置，其特征在于，所述输送管(3)一侧开设有第一滑槽(24)，第一挡板(13)滑动在第一滑槽(24)内，输送管(3)一侧内壁开设有第二矩形槽(29)，所述第二矩形槽(29)与第一滑槽(24)相连通，第一挡板(13)两侧均固定连接有第一凸块(15)，两个第一凸块(15)均与第二矩形槽(29)相适配。

6.根据权利要求5所述的一种扩散炉的尾气处理装置，其特征在于，所述输送管(3)一侧开设有第二滑槽(25)，第一齿条(17)滑动在第二滑槽(25)内，输送管(3)一侧开设有第一矩形槽(26)，所述第一矩形槽(26)与第二滑槽(25)相适配，第一齿条(17)一端固定连接有第二凸块(18)，第二凸块(18)与第一矩形槽(26)相适配。

7.根据权利要求6所述的一种扩散炉的尾气处理装置，其特征在于，所述风机(4)两侧均安装有过滤网(9)，输送管(3)一侧开设有进气孔(10)，所述尾气管(2)一端安装在进气孔(10)内。

说明书：一种扩散炉的尾气处理装置技术领域[0001] 本实用新型属于扩散炉的尾气处理技术领域，具体地说，涉及一种扩散炉的尾气处理装置。背景技术[0002] 扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺，随着石油、天然气、煤炭等不可再生能源的日益减少，人类面临着越来越严重的能源危机，从而促进了世界各国对风能、潮汐能和太阳能等可再生能源的开发和利用，通常会在管式扩散炉上设置尾气出口，尾气出口通过尾气输出管道与尾气处理装置入口的排废管相连，从而将扩散尾气输送至尾气处理装置，尾气经尾气处理装置处理后再进行排放。[0003] 但是经本发明人探索发现该技术方案仍然存在至少以下缺陷：[0004] 大部分尾气处理的方式是通过管道送入风机入口，通过风机在吸入空气的同时，吸入尾气进行处理，以去除尾气中的有机成分，在尾气吸入时会有部分尾气溢出，降低尾气处理效率。[0005] 有鉴于此特提出本实用新型。实用新型内容

[0006] 有鉴于此，本实用新型的目的在于提出一种扩散炉的尾气处理装置，以解决通过风机在吸入空气的同时，吸入尾气进行处理，以去除尾气中的有机成分，在尾气吸入时会有部分尾气溢出，降低尾气处理效率的问题。[0007] 基于上述目的，本实用新型提供了一种扩散炉的尾气处理装置。[0008] 一种扩散炉的尾气处理装置，包括扩散炉本体，所述扩散炉本体一侧安装有尾气管，尾气管另一端安装在输送管上，所述输送管一侧安装有风机，风机另一端安装有压缩机，压缩机另一端安装有尾气储存罐，尾气储存罐另一侧安装有活性炭吸附组件，所述活性炭吸附组件用于处理尾气，活性炭吸附组件一侧安装有排气管，所述输送管一端滑动连接有第一挡板，输送管一侧安装有电动推杆，所述电动推杆用于移动第一挡板，输送管一侧内壁滑动连接有第二挡板，第一挡板一侧固定连接有第一齿条，第二挡板一侧固定连接有第二齿条，输送管内转动连接有齿轮，所述第一齿条、第二齿条均与齿轮啮合。[0009] 作为本实用新型的一种优选实施方式，所述电动推杆输出端安装有连接板，连接板一侧固定连接在第一挡板上，第一挡板一侧固定连接有第一连接杆，第一齿条一端固定连接在第一连接杆上，第二挡板一侧固定连接有第二连接杆，第二齿条一端固定连接在第二连接杆上。[0010] 作为本实用新型的一种优选实施方式，所述第二挡板一侧固定连接有两个第二滑块，输送管一侧内壁开设有两个第三滑槽，第三滑槽横截面呈T型，两个第二滑块分别滑动在对应的第三滑槽内。[0011] 作为本实用新型的一种优选实施方式，所述第二齿条一侧两端均固定连接有第一滑块，输送管一侧内壁开设有第四滑槽，第四滑槽横截面呈T型，两个第一滑块均滑动在第四滑槽内。[0012] 作为本实用新型的一种优选实施方式，所述输送管一侧开设有第一滑槽，第一挡板滑动在第一滑槽内，输送管一侧内壁开设有第二矩形槽，所述第二矩形槽与第一滑槽相连通，第一挡板两侧均固定连接有第一凸块，两个第一凸块均与第二矩形槽相适配。[0013] 作为本实用新型的一种优选实施方式，所述输送管一侧开设有第二滑槽，第一齿条滑动在第二滑槽内，输送管一侧开设有第一矩形槽，所述第一矩形槽与第二滑槽相适配，第一齿条一端固定连接有第二凸块，第二凸块与第一矩形槽相适配。[0014] 作为本实用新型的一种优选实施方式，所述风机两侧均安装有过滤网，输送管一侧开设有进气孔，所述尾气管一端安装在进气孔内。[0015] 本实用新型与现有技术相比具有以下有益效果：[0016] 本实用新型，启动电动推杆，第一挡板下移使得输送管一端连通空气，第一挡板下移带动第一齿条下移，第一齿条带动齿轮转动，第二齿条跟着移动，使得第二挡板移动，打开进气孔，风机转动将尾气吸入压缩机，进一步处理尾气，通过在风机入口安装输送管，优先吸入尾气，提高尾气吸附效果，避免尾气吸入过程中溢出，提高尾气处理效率。[0017] 本实用新型，尾气处理完毕，关闭风机，电动推杆带动第一挡板堵住输送管通风口，第二挡板跟着移动堵住进气孔，这样操作，可以避免输送管内没有完全吸入的尾气溢出输送管，防止污染环境。[0018] 下面结合附图对本实用新型的具体实施方式作进一步详细的描述。附图说明[0019] 在附图中：[0020] 图1为本实用新型提出的一种扩散炉的尾气处理装置的立体结构示意图；[0021] 图2为本实用新型提出的一种扩散炉的尾气处理装置的风机立体结构示意图；[0022] 图3为本实用新型提出的一种扩散炉的尾气处理装置的第一挡板立体结构示意图；[0023] 图4为本实用新型提出的一种扩散炉的尾气处理装置的第一滑槽立体结构示意图；[0024] 图5为本实用新型提出的一种扩散炉的尾气处理装置的第三滑槽剖面结构示意图；[0025] 图6为本实用新型提出的一种扩散炉的尾气处理装置的第四滑槽剖面结构示意图。[0026] 图中：1、扩散炉本体；2、尾气管；3、输送管；4、风机；5、压缩机；6、尾气储存罐；7、活性炭吸附组件；8、排气管；9、过滤网；10、进气孔；11、电动推杆；12、连接板；13、第一挡板；14、第二挡板；15、第一凸块；16、第一连接杆；17、第一齿条；18、第二凸块；19、齿轮；20、第二连接杆；21、第二齿条；22、第一滑块；23、第二滑块；24、第一滑槽；25、第二滑槽；26、第一矩形槽；27、第三滑槽；28、第四滑槽；29、第二矩形槽。

具体实施方式[0027] 为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，以下实施例用于说明本实用新型。[0028] 如图1至图6所示，一种扩散炉的尾气处理装置，包括扩散炉本体1，扩散炉本体1一侧安装有尾气管2，尾气管2另一端安装在输送管3上，输送管3一侧安装有风机4，风机4另一端安装有压缩机5，压缩机5另一端安装有尾气储存罐6，尾气储存罐6另一侧安装有活性炭吸附组件7，活性炭吸附组件7用于处理尾气，活性炭吸附组件7一侧安装有排气管8，输送管3一端滑动连接有第一挡板13，输送管3一侧安装有电动推杆11，电动推杆11用于移动第一挡板13，输送管3一侧内壁滑动连接有第二挡板14，第一挡板13一侧固定连接有第一齿条

17，第二挡板14一侧固定连接有第二齿条21，输送管3内转动连接有齿轮19，第一齿条17、第二齿条21均与齿轮19啮合。

[0029] 电动推杆11输出端安装有连接板12，连接板12一侧固定连接在第一挡板13上，便于移动第一挡板13，第一挡板13一侧固定连接有第一连接杆16，第一齿条17一端固定连接在第一连接杆16上，第二挡板14一侧固定连接有第二连接杆20，第二齿条21一端固定连接在第二连接杆20上。[0030] 第二挡板14一侧固定连接有两个第二滑块23，输送管3一侧内壁开设有两个第三滑槽27，第三滑槽27横截面呈T型，两个第二滑块23分别滑动在对应的第三滑槽27内，使得第二挡板14稳定移动。[0031] 第二齿条21一侧两端均固定连接有第一滑块22，输送管3一侧内壁开设有第四滑槽28，第四滑槽28横截面呈T型，两个第一滑块22均滑动在第四滑槽28内，使得第二齿条21稳定移动。[0032] 输送管3一侧开设有第一滑槽24，第一挡板13滑动在第一滑槽24内，输送管3一侧内壁开设有第二矩形槽29，第二矩形槽29与第一滑槽24相连通，第一挡板13两侧均固定连接有第一凸块15，避免尾气从第一滑槽24溢出，两个第一凸块15均与第二矩形槽29相适配。[0033] 输送管3一侧开设有第二滑槽25，第一齿条17滑动在第二滑槽25内，输送管3一侧开设有第一矩形槽26，第一矩形槽26与第二滑槽25相适配，第一齿条17一端固定连接有第二凸块18，第二凸块18与第一矩形槽26相适配，避免尾气从第二滑槽25内溢出。[0034] 风机4两侧均安装有过滤网9，防止灰尘进入风机4内，输送管3一侧开设有进气孔10，尾气管2一端安装在进气孔10内。

[0035] 本实施例的一种扩散炉的尾气处理装置的实施原理如下：[0036] 使用时，启动风机4，风机4吸入输送管3内的尾气，启动电动推杆11，连接板12下移带动第一挡板13下移，下移停止，两个第一凸块15插入第二矩形槽29内，第一挡板13下移带动第一齿条17下移，第一齿条17带动齿轮19转动，第二齿条21跟着移动，使得第二挡板14移动打开进气孔10，扩散炉本体1内的尾气从尾气管2进入输送管3内，风机4将尾气送入压缩机5，压缩机5将尾气处理后存入尾气储存罐6内，活性炭吸附组件7处理尾气储存罐6内的尾气，尾气处理完毕通过排气管8排出，尾气排放完，关闭风机4，电动推杆11带动第一挡板13上移堵住输送管3，第二挡板14跟着移动挡住进气孔10。