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利用离子注入技术对蛇纹石进行改性的方法

857   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:29:44
本发明涉及一种利用离子注入技术对蛇纹石进行改性的方法，属于物理技术材料改性技术领域。本发明的特点是将蛇纹石粉末放入离子注入机中，并对离子注入机的腔体进行抽真空，真空度要求为1×10-3-1×10-6Torr；以离子形式注入NH3，离子注入能量为30-60kev；注入通量为1×1017cm-2；注入时间为3-20min；最后将经离子注入后的样品取出，即获得有“N”元素注入的蛇纹石样品。
声明：
“利用离子注入技术对蛇纹石进行改性的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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