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铟掺杂氧化锌靶材及透明导电膜的制备方法

1083   编辑：管理员   来源：北方有色网  
2023-03-18 14:29:44
本发明涉及一种铟掺杂氧化锌溅射靶材及其透明导电膜的制备方法。该法采用液相法或固相法制备铟掺杂氧化锌粉体,经冷等静压成型、真空烧结和气氛退火得到高纯铟掺杂氧化锌陶瓷靶材,并使用该靶材经溅射法制备透明导电膜。其中氧化铟的质量含量为0.5-10%;靶材的纯度不低于99.9%;靶材的相对密度不低于95%,最高可达99.5%。采用该靶材经溅射法制备的透明导电膜具有优良的光电性能,电阻率可低至7×10-4Ωcm,在可见光范围(400～800nm)最高透过率可达92%,而平均透过率不低于84%,可广泛应用于太阳能电池、发光二极管、平板和液晶显示等领域。
声明：
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