双轨高产能晶硅电池片抗光衰退火炉设备

722 编辑：中冶有色技术网来源：徐州中辉光伏科技有限公司

2023-12-25 14:21:44

权利要求书： 1.一种双轨高产能晶硅电池片抗光衰退火炉设备，包括机体（1），所述机体（1）的内底部固定有多个升降杆（2），所述升降杆（2）的升降输出端固定有退火处理托盘（3），所述退火处理托盘（3）上固定有两组电动输送滑轨（4），所述机体（1）内部固定有多个均匀分布的加热单元（5），其特征在于：所述机体（1）的外壁上固定有鼓风机（6），所述鼓风机（6）的出风口连接有输气管（7），所述退火处理托盘（3）的内部开设有空腔（8），所述输气管（7）与空腔（8）内部相连通，所述退火处理托盘（3）的上表面开设有多个均匀分布的出风孔（9），所述出风孔（9）为喇叭形结构，所述退火处理托盘（3）的上侧设有冷却水管（10），且冷却水管（10）与出风孔（9）对应设置，所述冷却水管（10）通过U形紧固件固定在机体（1）内壁上，所述冷却水管（10）的两端分别连接有进水管（11）和出水管（12），所述进水管（11）和出水管（12）均贯穿机体（1）设置，所述进水管（11）和出水管（12）均与冷却水箱相连接，所述机体（1）的上侧开设有出风口（13），所述机体（1）顶端固定有废气净化箱（14），所述废气净化箱（14）底端与出风口（13）相连通，所述废气净化箱（14）内部填充有多个废气净化球（15），所述废气净化箱（14）的顶端连接有排气管（16）。

2.根据权利要求1所述的一种双轨高产能晶硅电池片抗光衰退火炉设备，其特征在于：所述废气净化球（15）包括球形滤网（151），所述球形滤网（151）的外壁上固定有多根亲水吸附纤维（152），所述球形滤网（151）的内部填充有多个活性炭吸附球（153），且球形滤网（151）的内部还填充有活性炭吸附颗粒（154）。

3.根据权利要求1所述的一种双轨高产能晶硅电池片抗光衰退火炉设备，其特征在于：所述升降杆（2）为升降液压缸、升降气缸和电动推杆中的一种。

4.根据权利要求1所述的一种双轨高产能晶硅电池片抗光衰退火炉设备，其特征在于：所述冷却水管（10）、进水管（11）和出水管（12）均采用耐高温导热材料制成。

5.根据权利要求1所述的一种双轨高产能晶硅电池片抗光衰退火炉设备，其特征在于：所述废气净化箱（14）与机体（1）的连接处设有密封垫。

说明书：一种双轨高产能晶硅电池片抗光衰退火炉设备技术领域[0001] 本实用新型涉及电池片生产设备技术领域，更具体地说，涉及一种双轨高产能晶硅电池片抗光衰退火炉设备。

背景技术[0002] 在各类硅片生产制备过程中，退火工艺是一个重要的工艺流程。硅片退火处理，是工艺的一个环节，是按一定的程序对硅片进行升温、降温的过程。硅片中含有氧，氧有吸取

杂质的作用，退火时可以将硅片表面附近的氧，从其表面挥发脱除，使表面附近的杂质数量

减少，通过退火工艺可以降低晶硅芯片体内缺陷，获得更好的半导体芯片质量。

[0003] 硅片退火工艺需要用到退火炉，现在使用的绝大部分半导体芯片退火炉，在冷却时不能很好的实现均匀冷却，导致冷却时炉体内部温度不一样影响电池片的质量，且还存

在着严重的气体外泄而造成的环境污染问题。

实用新型内容

[0004] 1．要解决的技术问题[0005] 针对现有技术中存在的问题，本实用新型的目的在于提供一种双轨高产能晶硅电池片抗光衰退火炉设备，可以实现利用风冷和水冷两种冷却方式进行冷却，且通过特殊的

喇叭形出风孔的设置，实现冷空气的均匀分布，提升冷却效率，并且出风孔和冷却水管的合

理布置，能够使风冷和水冷有效配合，进一步提升净化效率，另外利用废气净化球显著的增

大了废气与废气净化球的接触面积，提升废气的净化效率。

[0006] 2．技术方案[0007] 为解决上述问题，本实用新型采用如下的技术方案。[0008] 一种双轨高产能晶硅电池片抗光衰退火炉设备，包括机体，所述机体的内底部固定有多个升降杆，所述升降杆的升降输出端固定有退火处理托盘，所述退火处理托盘上固

定有两组电动输送滑轨，所述机体内部固定有多个均匀分布的加热单元，所述机体的外壁

上固定有鼓风机，所述鼓风机的出风口连接有输气管，所述退火处理托盘的内部开设有空

腔，所述输气管与空腔内部相连通，所述退火处理托盘的上表面开设有多个均匀分布的出

风孔，所述出风孔为喇叭形结构，所述退火处理托盘的上侧设有冷却水管，且冷却水管与出

风孔对应设置，所述冷却水管通过U形紧固件固定在机体内壁上，所述冷却水管的两端分别

连接有进水管和出水管，所述进水管和出水管均贯穿机体设置，所述进水管和出水管均与

冷却水箱相连接，所述机体的上侧开设有出风口，所述机体顶端固定有废气净化箱，所述废

气净化箱底端与出风口相连通，所述废气净化箱内部填充有多个废气净化球，所述废气净

化箱的顶端连接有排气管。本方案可以实现利用风冷和水冷两种冷却方式进行冷却，且通

过特殊的喇叭形出风孔的设置，实现冷空气的均匀分布，提升冷却效率，并且出风孔和冷却

水管的合理布置，能够使风冷和水冷有效配合，进一步提升净化效率，另外利用废气净化球

显著的增大了废气与废气净化球的接触面积，提升废气的净化效率。

[0009] 进一步的，所述废气净化球包括球形滤网，所述球形滤网的外壁上固定有多根亲水吸附纤维，所述球形滤网的内部填充有多个活性炭吸附球，且球形滤网的内部还填充有

活性炭吸附颗粒。利用设置的亲水吸附纤维可吸附湿气，吸附湿气后的亲水吸附纤维具有

较强的粉尘吸附能力，利用亲水吸附纤维吸附颗粒较大的杂质，并利用设置的活性炭吸附

球和活性炭吸附颗粒对废气中的小颗粒杂质和有毒有害气体进行吸附，球形结构显著的提

升了吸附面积，提升了对退火处理废气的净化效果。

[0010] 进一步的，所述升降杆为升降液压缸、升降气缸和电动推杆中的一种，能够方便的对退火处理托盘进行升降调节，满足不同情况下的使用需求。

[0011] 进一步的，所述冷却水管、进水管和出水管均采用耐高温导热材料制成，提升水冷效果，延长使用寿命。

[0012] 进一步的，所述废气净化箱与机体的连接处设有密封垫，保证废气净化箱与机体连接处的密封性，避免废气泄露。

[0013] 3．有益效果[0014] 相比于现有技术，本实用新型的优点在于：[0015] （1）本方案可以实现利用风冷和水冷两种冷却方式进行冷却，且通过特殊的喇叭形出风孔的设置，实现冷空气的均匀分布，提升冷却效率，并且出风孔和冷却水管的合理布

置，能够使风冷和水冷有效配合，进一步提升净化效率，另外利用废气净化球显著的增大了

废气与废气净化球的接触面积，提升废气的净化效率。

[0016] （2）利用设置的亲水吸附纤维可吸附湿气，吸附湿气后的亲水吸附纤维具有较强的粉尘吸附能力，利用亲水吸附纤维吸附颗粒较大的杂质，并利用设置的活性炭吸附球和

活性炭吸附颗粒对废气中的小颗粒杂质和有毒有害气体进行吸附，球形结构显著的提升了

吸附面积，提升了对退火处理废气的净化效果。

[0017] （3）升降杆为升降液压缸、升降气缸和电动推杆中的一种，能够方便的对退火处理托盘进行升降调节，满足不同情况下的使用需求。

[0018] （4）冷却水管、进水管和出水管均采用耐高温导热材料制成，提升水冷效果，延长使用寿命。

[0019] （5）废气净化箱与机体的连接处设有密封垫，保证废气净化箱与机体连接处的密封性，避免废气泄露。

附图说明[0020] 图1为本实用新型的正视图；[0021] 图2为图1中A处的放大结构示意图；[0022] 图3为本实用新型中废气净化球的结构示意图；[0023] 图4为本实用新型中退火处理托盘的俯视图。[0024] 图中标号说明：[0025] 1机体、2升降杆、3退火处理托盘、4电动输送滑轨、5加热单元、6鼓风机、7输气管、8空腔、9出风孔、10冷却水管、11进水管、12出水管、13出风口、14废气净化箱、15废气净化球、

151球形滤网、152亲水吸附纤维、153活性炭吸附球、154活性炭吸附颗粒、16排气管。

具体实施方式[0026] 下面将结合本实用新型实施例中的附图；对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述；显然；所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例；而不是全部的

实施例，基于本实用新型中的实施例；本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下

所获得的所有其他实施例；都属于本实用新型保护的范围。

[0027] 在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”、“顶/底端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型

和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构

造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目

的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

[0028] 在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“套设/接”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以

是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以

通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可

以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

[0029] 实施例1：[0030] 请参阅图1?2和图4，一种双轨高产能晶硅电池片抗光衰退火炉设备，包括机体1，机体1的内底部固定有多个升降杆2，升降杆2的升降输出端固定有退火处理托盘3，退火处

理托盘3上固定有两组电动输送滑轨4，电动输送滑轨4为现有技术，在此不再赘述，机体1内

部固定有多个均匀分布的加热单元5，机体1的外壁上固定有鼓风机6，鼓风机6的出风口连

接有输气管7，退火处理托盘3的内部开设有空腔8，输气管7与空腔8内部相连通，退火处理

托盘3的上表面开设有多个均匀分布的出风孔9，出风孔9为喇叭形结构，退火处理托盘3的

上侧设有冷却水管10，且冷却水管10与出风孔9对应设置，冷却水管10通过U形紧固件固定

在机体1内壁上，冷却水管10的两端分别连接有进水管11和出水管12，进水管11和出水管12

均贯穿机体1设置，进水管11和出水管12均与冷却水箱相连接，机体1的上侧开设有出风口

13，机体1顶端固定有废气净化箱14，废气净化箱14底端与出风口13相连通，废气净化箱14

内部填充有多个废气净化球15，废气净化箱14的顶端连接有排气管16。使用设备时，电动输

送滑轨4用于对硅片进行输送，在输送过程中，加热单元5工作对硅片进行热处理，当需要进

行冷却时，启动鼓风机6工作，冷风进入空腔8内部并由出风孔9吹出，出风孔9为外粗内细的

喇叭形结构，冷风经过出风孔9时会呈扇形扩散，使出风孔9在机体1内部充分扩散，提升冷

却的均匀性，从而有效提升冷却效率，同时冷却水管10内部流动的循环冷却水进行冷却，提

升冷却效率，并且由出风孔9吹出的风还可对冷却水管10进行冷却降温，进一步提升冷却效

率，退火处理过程中产生的废气由出风口13排出进入废气净化箱14内部，利用设置的废气

净化球15对废气进行有效净化，由于废气净化球15为球形结构，且多个废气净化球15堆积

设置，显著的增大了废气与废气净化球15的接触面积，提升净化效率。

[0031] 本方案可以实现利用风冷和水冷两种冷却方式进行冷却，且通过特殊的喇叭形出风孔9的设置，实现冷空气的均匀分布，提升冷却效率，并且出风孔9和冷却水管10的合理布

置，能够使风冷和水冷有效配合，进一步提升净化效率，另外利用废气净化球15显著的增大

了废气与废气净化球15的接触面积，提升废气的净化效率。

[0032] 请参阅图1和图3，废气净化球15包括球形滤网151，球形滤网151的外壁上固定有多根亲水吸附纤维152，球形滤网151的内部填充有多个活性炭吸附球153，且球形滤网151

的内部还填充有活性炭吸附颗粒154。利用设置的亲水吸附纤维152可吸附湿气，吸附湿气

后的亲水吸附纤维152具有较强的粉尘吸附能力，利用亲水吸附纤维152吸附颗粒较大的杂

质，并利用设置的活性炭吸附球153和活性炭吸附颗粒154对废气中的小颗粒杂质和有毒有

害气体进行吸附，球形结构显著的提升了吸附面积，提升了对退火处理废气的净化效果。

[0033] 请参阅图1，升降杆2为升降液压缸、升降气缸和电动推杆中的一种，能够方便的对退火处理托盘3进行升降调节，满足不同情况下的使用需求。

[0034] 请参阅图1，冷却水管10、进水管11和出水管12均采用耐高温导热材料制成，提升水冷效果，延长使用寿命。

[0035] 请参阅图1，废气净化箱14与机体1的连接处设有密封垫，保证废气净化箱14与机体1连接处的密封性，避免废气泄露。

[0036] 以上所述；仅为本实用新型较佳的具体实施方式；但本实用新型的保护范围并不局限于此；任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内；根据本实用

新型的技术方案及其改进构思加以等同替换或改变；都应涵盖在本实用新型的保护范围

内。