本发明涉及一种用于抛光高硬度材料的纳米氮化硅抛光组合物,它的组份和重量百分比含量为,1%~8%的表面改性的纳米氮化硅、0.1%~1.0%钛酸酯偶联剂、0.1%~2%的季戊四醇硬脂酸酯、0.1%~1%的甘油单十六烷酸酯、余量为基础油。本发明还涉及这种纳米氮化硅抛光组合物的制备方法。采用本发明的纳米氮化硅抛光组合物使被抛光的材料表面达到超镜面的光洁度,而且在抛光过程中没有杂质或污染物污染被抛光的材料表面。本发明的制备工艺简单。
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