本发明公开了一种微波介质陶瓷材料及其制备方法和电子器件,微波介质陶瓷材料由包括陶瓷主晶相和烧结助剂的原料烧结制得,所述烧结助剂为复合氟化物,所述复合氟化物选自LF、MF
2、ReF
3和NF
4中的至少两种,其中L为碱金属元素,M为+2价金属元素,Re为
稀土金属元素、Al、Ga或Bi,N为+4价金属元素。本发明使用具有低熔点的复合氟化物作为烧结助剂,能够在较低的温度下烧结制备出具有连续可调的中介电常数及低介电损耗等优良微波性能的微波介质陶瓷材料。
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