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稀土抛光粉及其制备方法

1104   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 14:29:35
本发明公开了一种稀土抛光粉及其制备方法，所述稀土抛光粉，其特征在于，包括如下重量百分比的组分：氧化硅6～10%，稀土氧化物90～94%。本发明的稀土抛光粉，不引入容易引起划伤、环境污染等的氟，保证了抛光的精度；通过对碳酸稀土预处理，得到了特定的晶型，确保了镧以固溶体的形式存在；通过二氧化硅的引入，抑制了抛光过程中氢氧化镧的形成。本发明具有生产效率高，成本低、无污染，抛光粉的耐磨性和抛光效率高等特定，适用于集成电路、平面显示、光学玻璃等电子信息产业精密密器件的表面抛光加工。
声明：
“稀土抛光粉及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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