本发明涉及一种用于高频超声换能器的无铅压电复合厚膜的制备方法,包括以下步骤:(1)按照Bi0.5Na0.5TiO3的化学计量比,制备钛酸铋钠先驱体溶胶;(2)制备微纳米级Bi0.5(Na1-xKx)0.5TiO3钛酸铋钾钠
陶瓷粉体;(3)将微纳米级陶瓷粉体与钛酸铋钠先驱体溶胶混合,可以按照需求调整复合厚膜中陶瓷粉体的质量含量从20%-80%,制备混合浆料;(4)重复旋涂工艺-热处理工艺,得到具有无铅压电复合厚膜。本发明方法能够有效降低厚膜的烧结温度,降低钾、钠、铋元素的挥发,提高厚膜的介电、铁电、压电性能。
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