本发明公开了一种薄膜电池铜铟镓硒合金靶材的制备方法,采用多室真空梯度液相合成技术,制备熔点、密度相当的In2Se3、Ga2Se3等中间化合物解决硒的挥发以及硒与其它元素充分合金化问题,再在同一梯度真空炉中合成制备铜铟镓硒四元化合物,然后将这些化合物真空制粉、热压烧结可制得纯度高、密度大、晶粒细、成分均匀布、单一相黄铜矿结构的铜铟镓硒合金靶材。
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