本发明公开了一种近零膨胀薄膜材料,其分子式为Mn3InC1+x,由锰、锡、碳三种元素组成,其原子比基本为Mn:In:C=3:1:(1+x),其中(x=‑0.2~0.1),其晶体结构为
钙钛矿结构。本发明所述薄膜材料在220K‑330K较宽温度范围内具有近零热膨胀性能,该材料负热膨胀性能是各向同性的,具有良好热导性,结构稳定,该材料电阻率为3.45×10‑7Ω·m,在合金材料的电阻率范围,且原料便宜,制备相对简单,在制备与使用时都非常环保。
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