加热系统:
工作电压:AC220V 单相
最大功率: 9KW
加热区尺寸Φ200*250mm
最高工作温度: 1700°C(<1hr)
连续工作温度: 1600°C
控温方式采用宇电高精度版本控温控仪表,PID方式调节温度,可程序控温,用户需要探索所长晶体最合适的温度梯度
在上部炉膛处开有一个Φ25mm的斜观察孔,用于在晶体生长过程中对籽晶和晶体液面进行观察。
温控系统: 采用1块宇电高精度仪表,控温精度可达±0.1℃
• 0.05 级精度的控制器,带 150 段程序段,人工智能技术调节
• 配置1根B型热电偶作为温度检测及反馈信号传感器
籽晶杆固定件和坩埚
• 设备固定装置预留好连接杆的固定装置,可用于连接铂金丝或者水冷提拉杆(铂金丝选配)
• 标配有1套水冷提拉杆,用于连接客户生长晶体所用的籽晶杆;
• 可选配Φ80*80mm的铱金坩埚;
伺服电机控制系统:
(提拉速度更为均匀稳定,改善单晶生长质量)
• 提拉速度:0.03-12mm/h
• 提拉杆转速:0.03-50r/min
• 可手动控制实现快速升降
• 提拉行程:400mm