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电子半导体行业废气处理设备

电子半导体行业废气处理设备

1170
规格/型号：暂无
品牌：天兴环保
应用领域：环境保护
产地：江苏 - 常州
厂家/供应商：江苏天兴环保股份有限公司
咨询电话:：0519-86215188（请说明信息源自“中冶有色网”）
更新时间：2023-07-12
级别：待认证

电子半导体行业废气处理设备说明介绍

电子半导体行业废气处理设备

处理工艺:氮氧化物浓度较高的采用四级串联高浓度酸雾净化塔，添加氢氧化钠、硫化钠进行洗涤处理;氮氧化物浓度较低的采用两级串联酸雾净化塔，添加氢氧化钠进行洗涤处理。

主要特点:净化效率高，结构紧凑，耐腐蚀，耐老化性能好,自动化控制，操作简单，广泛应用于太阳能、电子半导体等行业。

PECVD设备尾气主要包含硅烷SiH及氨气NH等。

处理工艺:不锈钢燃烧筒一不锈钢硅烷燃烧洗涤塔氨气洗涤塔+离心风机

主要特点:硅烷去除率高， 氨气及其他水溶性气体净化率高，占地面积小，耐腐蚀，便于维修。


电子半导体行业废气处理设备

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标签：
电子半导体 半导体行业 废气处理设备
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江苏天兴环保股份有限公司
企业认证：
  
所属领域：
环境保护
企业性质：
-
经营范围：
-
联系电话：
0519-86215188
详细地址：
-

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