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镍钒合金靶材

镍钒合金靶材

浏览量 240
规格/型号:暂无
品牌:瑞弛
应用领域:瑞弛
产地:河北 - 保定
厂家/供应商:河北瑞弛新材料有限公司
咨询电话::0312-2593848(请说明信息源自“北方有色网”)
更新时间:2026-06-30
级别:待认证

镍钒合金靶材说明介绍

镍钒合金靶材

产品详细参数如下:

产品类别 合金靶材

产品简称 NiV

产品全称 Nickel Vanadium

产品纯度 99.9%,99.95%,99.99%

产品形状 平面靶,柱状靶,电弧靶,异型靶

生产工艺 Vacuum Melting

最大尺寸 L≤4000mm,W≤350mm

钒合金靶材产品详情:

在集成电路的膜层中一般用金做导电层,但金与晶圆(硅)容易生成AuSi低熔点化合物,导致金与硅界面粘接不牢固,因此在金和硅晶圆的表面之间增加了粘接层。一般用纯镍做粘接层,但镍膜层和金膜导电层之间也会扩散,因此还需要阻挡层,来防止金膜层和镍膜层之间的扩散。阻挡层常常采用熔点高的金属,还要承受较大的电流密度,高纯金属钒便能满足该要求。

所以在集成电路领域会用到镍溅射靶材、钒溅射靶材、金溅射靶材等。镍钒溅射靶材是在镍熔体中加入钒,制成镍钒合金靶材,该合金铁磁性较弱,更有利于磁控溅射,可同时实现镍溅射靶材和钒溅射靶材的优点,一次完成镍层(粘接层)和钒层(阻挡层)的制备。由于镍钒合金无磁性,广泛应用在电子及信息产业等领域。

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0312-2593848
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