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膜厚测量仪

膜厚测量仪

浏览量 495
规格/型号:F10-RT
品牌:纳腾
应用领域:检测设备
产地:上海 - 上海
厂家/供应商:上海纳腾仪器有限公司
咨询电话::02164283335(请说明信息源自“北方有色网”)
更新时间:2025-07-07
级别:待认证

膜厚测量仪说明介绍

膜厚测量仪

膜厚测量仪


型号:F10-RT

简介

KLA的Filmetrics系列利用光谱反射技术实现薄膜厚度的精确测量,其测量范围从nm-mm,可实现如光刻胶、氧化物、硅或者其他半导体膜、有机薄膜、导电透明薄膜等膜厚精确测量,被广泛应用于半导体、微电子、生物医学等领域。Filmetrics具有F10-HC、F20、F32、F40、F50、F60-t等多款产品,可测量从几mm到450mm大小的样品,薄膜厚度测量范围1nm到mm级。FilmetricsF10-RT以真空镀膜为设计目标,只要单击鼠标即可获得反射和透射光谱。不需要费时改变硬件配置,F10-RT-UV仅需要透过单击鼠标就能够同时收集反射与透射光谱,不到一秒钟的时间,阵列的光谱仪就可以快速的收集到资料。另外,Filmetrics专用的Autobaseline设计可以减少十倍以上的基准校准的参数读取时间。只需传统价格的一小部分,用户就能进行低/高分析、确定FWHM并进行颜色分析。可选的厚度和折射率模块让您能够充分利用FilmetricsF10的分析能力。测量结果能被快速地导出和打印。

一、主要功能

l主要应用

同步测量薄膜的反射率和穿透率

Ÿ空间色彩系统的色彩分析

Ÿ多层薄膜分析能力

Ÿ膜厚和参数解算模块

l技术能力

光谱波长范围:380-1050nm

厚度测量范围:15nm-70μm

测量n&k小厚度:100nm

准确度:取较大值,2nm或0.4%

精度:0.1nm

稳定性:0.07nm

光斑大小:6mm

二、应用

半导体制造:光刻胶、氧化物、氮化物

液晶显示器:液晶间隙、聚酰亚胺保护膜、纳米铟金属氧化物

生物医疗原件:聚合物/聚对二甲苯涂层、生物膜/气泡球厚度、药物涂层支架

微机电系统:硅膜、氮化/氧化薄膜滤镜

光学镀膜:硬镀膜、增透镀膜、Filters滤光

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