江苏苏青水处理工程集团有限公司
宣传

位置:北方有色 > 有色产品 >

> 无损检测设备

> 光学表面缺陷分析仪

光学表面缺陷分析仪

光学表面缺陷分析仪

浏览量 711
规格/型号:Lumina AT1
品牌:纳腾
应用领域:检测设备
产地:上海 - 上海
厂家/供应商:上海纳腾仪器有限公司
咨询电话::021-6428 3335(请说明信息源自“北方有色网”)
更新时间:2025-07-07
级别:待认证

光学表面缺陷分析仪说明介绍

光学表面缺陷分析仪

光学表面缺陷分析仪


一、简介

Lumina AT1光学表面缺陷分析仪可对玻璃、半导体及光电子材料进行表面检测。Lumina AT1既能够检测SiC、GaN、蓝宝石和玻璃等透明材料,又能对Si、砷化镓、磷化铟等不透明基板进行检测,其价格优势使其成为适合于研发/小批量生产过程中品质管理及良率改善的有力工具。

Lumina AT1结合散射测量、椭圆偏光、反射测量与表面斜率等基本原理,以非破环性方式对Wafer表面的残留异物,表面与表面下缺陷,形状变化和薄膜厚度的均匀性进行检测。

1.偏振通道用于薄膜、划痕和应力点;

2.坡度通道用于凹坑、凸起;

3.反射通道用于粗糙表面的颗粒;

4.暗场通道用于微粒和划痕;

二、 功能

l 主要功能

1. 缺陷检测与分类

2. 缺陷分析

3. 薄膜均一性测量

4. 表面粗糙度测量

5. 薄膜应力检测

l 技术特点

1.透明、半透明和不透明的材料均可测量,比如硅、化合物半导体或金属基底;

2.实现亚纳米的薄膜涂层、纳米颗粒、划痕、凹坑、凸起、应力点和其他缺陷的全表面扫描和成像;

3.150mm晶圆全表面扫描的扫描时间为3分钟,50x50mm样品30秒内可完成扫描并显示结果;

4.高抗震性能,系统不旋转,形状无关,可容纳非圆形和易碎的基底材料;

5.高达300x300mm的扫描区域;可定位缺陷,以便进一步分析;技术能力

三、应用案例

1. 透明/非透明材质表面缺陷检测

2. MOCVD外延生长成膜缺陷管控

3. PR膜厚均一性评价

4. Clean制程清洗效果评价

5. Wafer在CMP后表面缺陷分析

6. 多个应用领域,如AR/VR、Glass、光掩模版、蓝宝石、Si wafer等

点赞
收藏
分享
         
咨询底价咨询底价

与“光学表面缺陷分析仪”相关的最新需求

有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
四川生态修复带来大变化,废弃矿山变绿洲 冶金百科 | 有色冶金固体废物排放情况 储能电池出口迎来爆发式增长,锂电企业纷纷拓展海外市场 两轮电动车迎来“刀片电池”时代!续航突破 500 公里,电池终身免更换 冶金百科 | 铝冶金——拜耳法生产氧化铝 亿纬锂能:2023年实现总营收飙升,同比增长34.38% 普鲁士蓝的有趣特性:不只是颜料,还可以用来回收金属,做电池及杀死肿瘤细胞? 军工材料中应用最广泛的金属结构材料——铝合金 生态环境部印发《固体废物分类与代码目录》,废旧锂电池正式纳入固废管理 衡水市:独立储能发展布局指导方案印发 磷酸铁锂电池组电芯压差变大的原因及解决方法 冶金百科 | 铜冶金工艺——奥图泰闪速熔炼 2025年新疆光伏电价创新低:每度电仅需0.1648元 铝合金应用难题被攻克,服役温度从350℃提升至500℃ 600万吨氧化铝、240万吨电解铝!东方希望大手笔布局拉开帷幕 有色金属冶炼行业节能降碳改造升级实施指南 火电回血、风光失速:大唐发电净利润飙涨47%掀起的“五大电力”排位战 2.86亿!复合材料龙头获得C轮融资 原来他们都是中南大学杰出校友! 锂离子电池小百科 | 电池标识及电池性能与测试 钨矿——工业之基,战争金属之王 铜业百科 | 铜及铜合金热处理概述 冶金百科 | 铜冶金-火法炼铜小知识(四) 陕西:推出有色金属行业碳达峰实施方案,推动全产业链节能降碳 最快2023年上市!超级“核电池”无需充电能正常使用90年之久 中国电建以61亿元成功竞得云浮超大砂石矿权 特斯拉交付量远低于市场预期,正丧失中国市场主动权 冶金百科 | 稀土冶金 - 稀土元素原子半径及离子半径变化规律是什么,何谓镧系收缩? 坐在铜矿上的国家​:“铜矿之国”赞比亚到底有多“壕”? 维里迪斯矿业公司稀土矿项目回收率达到世界最高水平
上海纳腾仪器有限公司
企业认证:
营业执照待认证    手机号待认证
所属领域:
检测设备
企业性质:
-
经营范围:
-
联系电话:
021-6428 3335
详细地址:
-

报名参会

召开地址 贵州 - 贵阳
召开日期 2026年08月06日 ~ 08日
召开地址 内蒙 - 呼和浩特
召开日期 2026年08月12日 ~ 14日
召开地址 河南 - 郑州
召开日期 2026年08月15日 ~ 17日
召开地址 河南 - 洛阳
召开日期 2026年08月21日 ~ 23日
硒产业发展报告2026
推广

推荐产品
更多+

厂家:青岛垚鑫智能科技有限公司
厂家:青岛垚鑫智能科技有限公司
厂家:青岛垚鑫智能科技有限公司
厂家:青岛垚鑫智能科技有限公司
厂家:青岛垚鑫智能科技有限公司
山东省章丘鼓风机股份有限公司
宣传

推荐企业
更多+

最新更新产品

旋转缩分机
2026-07-31
密封式棒磨机
2026-07-31
2L台式旋转缩分机
2026-07-31
破碎缩分一体机
2026-07-31
筒型外滤式过滤机
2026-07-31
高效深锥浓缩机
2026-07-31
锌粉置换选金
2026-07-31
精密挤压棒
2026-07-31

慧博士报告
更多+

安徽霍桐仪器有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
店铺认领信息登记
0.212465s