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膜厚仪

膜厚仪

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规格/型号:F20/F30/F40/F50
品牌:中海远创
应用领域:检测设备
产地:北京 - 北京
厂家/供应商:北京中海远创材料科技有限公司
咨询电话::010-8462 0179(请说明信息源自“北方有色网”)
更新时间:2025-07-02
级别:待认证

膜厚仪说明介绍

F20/F30/F40/F50 膜厚仪系列

F20/F30/F40/F50 膜厚仪系列


Filmetrics®经济实惠的膜厚仪系列,利用光谱反射技术,在几秒钟内就能完成高精度的薄膜厚度测量。这些易于使用的仪器与智能软件和一系列附件和配置相结合,具有非常大的通用性,可测量从几毫米到450毫米大小,厚度从 1 纳米到 3 毫米的薄膜。被广泛应用于半导体、微电子和生物医学等领域。

产品描述

单点厚度测量

一键搞定的薄膜厚度和折射率台式测量系统。 测量 1nm 到 3mm 的单层薄膜或多层薄膜堆。

F20:销量非常好的薄膜测量系统。有各种不同附件和波长覆盖范围。

F3-sX:该系列能测量半导体与介电层薄膜厚度到3毫米。

F10-ARc:可测量镜片和其它曲面的反射率,用于硬涂层厚度测量。

F10-RT:可同时测量反射率和透射率。 提供测量厚度和折射率的可选件。普遍应用于真空涂层领域。

F10-HC:测量硬涂层和防雾层厚度和折射率。聚碳酸酯硬涂层在汽车等行业应用普遍。

F3-CS:提供微小视野及微小样品量测。

F10-AR:测量眼科镜头和其他弯曲表面的反射率。 还可以提供测量硬涂层厚度和透射率的可选件。

微米(显微)级别光斑尺寸厚度测量

当测量斑点只有1微米(µm)时,需要用您自己的显微镜或者用我们提供的整个系统。

F40:可固定到您的显微镜上来测量小至 1 µm 光斑的厚度和折射率。

自动厚度测量系统

几乎任何形状的样品厚度和折射率的自动测绘。人工加载或机器人加载均可。

在线厚度测量系统

监测控制生产过程中移动薄膜的厚度。高达100 Hz的采样率,可以在多个测量位置得到测量结果。

附件

Filmetrics 提供各种附件以满足您的应用需要。

主要技术能力

以F20系列为例:

光谱波长范围:190-1700nm

厚度测量范围:1nm-250μm

测量n&k小厚度:50nm

准确度:取较大值,1nm或0.2%

分辨率:0.02nm

稳定性:0.05nm

光斑大小:1.5mm

样品尺寸:直径从1mm到300mm或更大

半导体薄膜:光刻胶、工艺薄膜、介电材料

液晶显示:OLED、玻璃厚度、ITO

光学镀膜:硬涂层厚度、减反图层

高分子薄膜:PI、PC

主要应用

由于其模块化的性质,F20可以适应多种应用:

1. 厚度、折射率、反射率、透射率的测量:

——单层或多层堆叠薄膜

——衬底材料

——液体薄膜或空气间隙

2. 适用于多种薄膜状态的测量,包括:

——在平面或曲面上

——现场尺寸可小到20微米

3. 量测样品种类:

几乎任何光滑的、半透明的或轻微吸收的薄膜都可以测量。这包括大多数介质和半导体。

适用行业

●    大学,实验室和研究所

●    硅和化合物半导体

●    精密光学和机械

●    MEMS:微机电系统

●    生物医学

●    还有更多:请与我们联系并探讨您的要求

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