氖气退火炉简介
氖气退火炉是一种高性能的热处理设备,主要用于在高真空或惰性气体氛围下对金属材料进行退火处理。该设备通过精确控制温度、真空度和气体环境,确保材料在处理过程中保持高纯度和高质量。以下是该设备的主要技术指标和特点。
技术指标
真空性能:
系统极限真空度 ≤5×10⁻³ Pa(冷态),确保在低温下也能达到高真空状态。
工作真空度 ≤5×10⁻³ Pa(温度≥200℃),适用于高温退火过程。
系统漏率 ≤5×10⁻³ Pa·m³/s,保证真空系统的稳定性和可靠性。
温度控制:
最高加热温度可达850℃,满足多种材料的退火需求。
升温速率可在0.5~10℃/min范围内调节,降温速率在250℃以上为0.5~5℃/min,250℃以下自然降温,确保工艺的灵活性和精确性。
均温区范围≥Ф1000mm×200mm,温度均匀性 ≤±3℃,控温精度 ≤±1℃,确保退火过程的均匀性和一致性。
结构设计:
真空室内径≥Ф1300mm,有效高度≥300mm,工件支撑盘尺寸>Ф1000mm×10mm,提供足够的空间以适应大型工件。
钟罩降下后工件盘距真空室顶部高度≥300mm,钟罩升起后工件盘上端距离钟罩下端高度≥300mm,确保操作的安全性和便利性。
钟罩提升至最高位置时总高度≤2450mm,台面高度≤1000mm,便于设备的安装和操作。
性能指标:
抽速:真空室暴露大气后,抽至5×10⁻³ Pa所需时间≤1小时,确保快速恢复真空状态。
功耗:≤45kW,节能高效,降低运行成本。