boe废液制备氟化氢的方法及装置技术领域1.本发明涉及废液再利用领域，特别是指一种boe废液制备氟化氢的方法及装置。背景技术：2.boe(buffered oxide etch)，缓冲氧化物蚀刻液，简称“缓冲蚀刻液”。由氢氟酸(hf)与氟化铵(nh4f)依不同比例混合而成。用于半导体元件(例如芯片)的蚀刻，hf主要起蚀刻反应作用，nh4f则作为缓冲剂使用；hf与硅反应，nh4f固定h+的浓度，使之保持一定的蚀刻率。3.各工厂的boe配比并不完全相同。6：1的boe缓冲蚀刻液即表示49％hf水溶液与40％nh4f水溶液按照体积比1：6的成分混合而成，hf和nh4f混合后，部分形成氟化氢铵(nh4hf2)。正常情况下，对半导体元件的刻蚀速度约为10nm/sec。4.当boe蚀刻液使用一定时间后，就作为废液排出，成为boe废液。5.boe废液主要成分为氟化铵(nh4f)和氟化氢铵(nh4hf2)，同时含有少量的氟硅酸铵；属于危废！大部分半导体工厂委托有资质的危废处置单位进行无害化处理，即：通过加入石灰或消石灰，反应成氟化钙和氨水；有条件的处置单位会回收氨水，氟化钙成为污泥，作无害化填埋。这种处置方式成本高、污染大、污泥处置费用高，关键是资源没有得到有效利用，是一种得不偿失的方法。6.氟化氢(hydrogen fluoride)，化学分子式为hf，分子量20.01，易溶于水、乙醇。无水氟化氢(简称ahf)低温或压力下为无色透明液体，沸点19.4℃，熔点-83.37℃，密度1.008g/cm3(水＝1)。在室温和常温下极易挥发成白色烟雾。它的化学性质极活泼，能与碱、金属、氧化物以及硅酸盐等反应。氟化氢是现代氟化工的基础，是制取元素氟、各种氟致冷剂、含氟新材料、无机氟化盐、各种有机氟化物等的最基本原料。氟化氢与水可以在任何质量比例混合，成为氢氟酸(简称hf)。7.氟化氢或氢氟酸是生产boe蚀刻液的原料，如果boe废液能重新回到氟化氢或氢氟酸的状态，其有效资源可得到全面的循环利用！不仅解决半导体行业的废液出路问题，更是利国利民的好事。8.因此，有必要研发一种boe废液制备氟化氢的方法，使boe废液的有效资源得到全面的回收利用。技术实现要素：9.本发明提出一种boe废液制备氟化氢的方法及装置，解决了现有技术中boe废液后处理的问题。10.本发明的技术方案是这样实现的：11.一种bo
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“BOE废液制备氟化氢的方法及装置与流程” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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编辑：中冶有色网
来源：浙江容跃环保科技有限公司
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2025年06月13日 ~ 15日 
