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信息处理方法、装置、介质、校正器、模组及设备

788   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-19 09:20:07
本发明属于微电子技术领域,尤其涉及一种信息处理方法、装置、介质、校正器、模组及设备。基于光邻近效应的仿真和校正,通过对工艺参数的预处理,使得相关的测试过程的效率提高、失效率降低,该方法对于光刻工艺窗口较窄的应用场景,有较强的适应性,在预设的焦距能量矩阵范围内,提升了信息获取的效率。
声明:
“信息处理方法、装置、介质、校正器、模组及设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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