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堆叠导电柱互联结构及其制备方法

607   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:20:06
本发明提供一种堆叠导电柱互联结构及其制备方法，堆叠导电柱互联结构包括：依次垂直层叠的第一介质层至第N介质层；N为大于或等于2的整数；任意的第n介质层中具有第n通槽；垂直堆叠且依次邻接的第一导电柱至第N导电柱；任意的第n导电柱位于第n通槽中，任意的第n导电柱包括：位于第n通槽的内壁表面的第n应力阻挡层以及位于第n应力阻挡层上的第n导电本体；n为大于或等于1且小于或等于N的整数；任意的第k导电本体和第k+1应力阻挡层接触，k为大于或等于1且小于或等于N‑1的整数。所述堆叠导电柱互联结构避免可靠性测试失效且提高了使用寿命。
声明：
“堆叠导电柱互联结构及其制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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