本发明公开了一种加速度传感器
芯片生产校验补偿方法,加速度传感器芯片生产校验补偿方法旨在用于加速度传感器芯片批量生产测试,加速度传感器芯片生产校验补偿方法是用校准过的成品加速度传感器芯片做参考,成品加速度传感器芯片和待测成品矩阵排列放在特定旋转转台以特定的状态运行环境下,通过采样对加速度传感器芯片的ADC输出,并与参考加速度传感器芯片的输出作对比和运算,将要校准的参数写入待测加速度传感器芯片内的存储区,再读取加速度传感器芯片的ADC输出,再对比判断该待测成品是否校准成功,如果校准不成功,则当该颗待测成品为失效电路。测试设备根据该方法一次能够并行测试多颗电路。
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