合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 分析检测技术

> 失效分析技术

> 分栅式闪存器件制造方法

分栅式闪存器件制造方法

952   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:02:33
本发明提供一种分栅式闪存器件制造方法，在所述浮栅氮化硅层的沟槽以及所述浮栅氮化硅层表面沉积一定厚度的源线多晶硅层后，对所述源线多晶硅层的顶部平坦化工艺或者回刻蚀工艺进行终点监测，以获得所述源线多晶硅层的在所述沟槽顶部的宽度或者所述第一侧墙的损耗高度，并在去除浮栅氮化硅以后，根据所述监测的结果，对暴露出的第一侧墙的侧壁进行相应的侧向回刻蚀，以暴露出合适区域的浮栅多晶硅层，从而保证后续刻蚀暴露出的浮栅多晶硅层后，能够获得具有合适的高度和顶角角度的浮栅尖端，最终可以避免分栅式闪存器件的数据擦除失效和编程失效问题。
声明：
“分栅式闪存器件制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
失效分析
上一个：高速铁路桥梁支座在设计使用寿命内累积磨损的评估方法
下一个：验证塔式起重机起重量幅度信号的方法与装置

与 “分栅式闪存器件制造方法” 相关技术

▪ 快速熔炼中频炉
▪ 真空炉熔炼室内中频炉体翻转支撑装置
▪ 功能性含氟纳米磁珠的制备方法及应用
▪ 低密度高导热铜基石墨热沉材料的制备方法
▪ 地下铲运机及其智能驾驶系统和控制方法
▪ 侧翻式铲运车铲斗
▪ 顶板破碎中厚及以上矿体的回采方法
▪ 矿硐巷道掘进开采方法
▪ 废弃电路板的湿法冶金技术
▪ 提高有价金属回收率的铅锌矿选矿方法

相关失效分析设备推荐

KP826四合一 多气体检测仪
能量色散X荧光光谱仪 矿产矿石专用分析仪
台阶仪
智墒土壤墒情监测仪
流水线金属检测方案4012型
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议 中冶有色技术平台 有色金属技术网 中冶有色技术网
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪快速熔炼中频炉
▪真空炉熔炼室内中频炉体翻转支撑装置
▪功能性含氟纳米磁珠的制备方法及应用
▪低密度高导热铜基石墨热沉材料的制备方法
▪地下铲运机及其智能驾驶系统和控制方法
▪侧翻式铲运车铲斗
▪顶板破碎中厚及以上矿体的回采方法
▪矿硐巷道掘进开采方法
▪废弃电路板的湿法冶金技术
▪提高有价金属回收率的铅锌矿选矿方法

报名参会
更多+

特种粉末冶金及复合材料制备/加工第八届学术会议
特种粉末冶金及复合材料制备/加工第八届学术会议
2024年12月27日 ~ 29日
2024非金属矿物选矿提纯技术交流会
2024非金属矿物选矿提纯技术交流会
2024年12月27日 ~ 29日
2025全国碳纤维与复合材料应用技术创新论坛
2025全国碳纤维与复合材料应用技术创新论坛
2025年01月03日 ~ 05日
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
2025年03月25日 ~ 27日
2024新能源矿产资源科技创新发展论坛
2024新能源矿产资源科技创新发展论坛
2025年04月27日 ~ 29日

报告下载

1 矿产品能力验证计划中样品的选取
下载:135
2 取、制样安全浅析
下载:123
3 取、制样现状及未来规划/需求
下载:98
4 自动化样品制备助力准确高效的矿
下载:92
5 浅谈质量检验管理风险防控的重点
下载:91
6 样品变质引起采制样和结算问题
下载:89
7 矿产品人工取样方案的制定及案例
下载:86
8 用于X荧光分析的样品前处理及其
下载:85
9 不均匀样品给第三方检测机构和贸
下载:84
10 制样室装修设计技巧
下载:83
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
推广

热门技术
更多+

1防爆阀保护膜
2压力平衡机构
3水电站的尾水预埋件
4化工矿产有色金属的检测机构
5矿石分类与实时定量分析的光谱检测新方法
6矿石中有色金属成分和含量的检测装置
7有色金属现货状态评估系统及方法
8有色金属废料中铁磁性杂质检测设备及检测工艺
9高温熔体缓冷装置及渣包测温方法
10便携式矿山测量激光仪
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记