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基于抗过载结构的防异物防破损压力传感器

731   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:01:09
本实用新型提供一种基于抗过载结构的防异物防破损压力传感器，它包括敏感膜以及位于所述敏感膜上的应变电阻和电极，所述电极连接所述应变电阻的输出端，以传输检测信号，还包括位于所述敏感膜下方的硅衬底，以及位于所述敏感膜上方的保护盖；所述硅衬底开设凹槽，所述凹槽底部设置有第一防粘连结构；所述保护盖均匀开设若干第一进气孔，用于防止所述敏感膜局部形变异常。本实用新型通过增设第一防粘连结构和第二防粘连结构，形成双臂防粘连结构，有效防止压力传感器敏感膜因超高过载导致的损坏、破裂、过度形变等失效；所述保护盖均匀布设的第一进气孔能够调节气流走向，使之均匀进入检测腔体内，保证敏感膜的形变均匀性和受力平衡。
声明：
“基于抗过载结构的防异物防破损压力传感器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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