本实用新型公开了一种载台及载具,所述载台包括,一第一夹板;一第二夹板,与第一夹板相对设置;一安装板,一体连接于第二夹板,且第一夹板与安装板设置于第二夹板的两侧;至少一紧固件,连接于第一夹板和第二夹板之间;一凹槽,设置于第二夹板靠近第一夹板的一侧;以及一夹持凸块,设置于第一夹板靠近第二夹板的一侧,且对应于所述第二夹板的所述凹槽,使所述夹持凸块与所述凹槽接合,借此将待处理样品固定于所述凹槽中。利用本实用新型,采用夹取的方式固定待处理样品时温度低,不仅避免了待处理样品中失效信息的破坏,失效分析结果更准确,而且无烫伤风险;同时对待处理样品固定更稳固,调平精度高,能制作出质量更好的截面。
声明:
“载台及载具” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)