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获取高清晰聚焦离子束加工截面图像的方法

1071   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:00:57
本发明提供了一种获取高清晰聚焦离子束加工截面图像的方法,该方法包括以下步骤:A、将需要进行分析的样品置于聚焦离子束仪中进行截面切抛加工,得到样品截面;B、将样品从聚焦离子束仪中取出,使用腐蚀液对样品进行截面腐蚀;C、将样品截面进行冲洗和吹干;D、将样品放入场发射电子显微镜中,找到截面后倾斜30°～45°,进行截面的二次电子像观察,获得高清晰的聚焦离子束截面样品图像。本发明有如下优点:本发明方法能够有效、高质量地获得高清晰的聚焦离子束截面样品图像,为失效分析提供结构截面分界清楚的截面形貌信息。
声明：
“获取高清晰聚焦离子束加工截面图像的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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