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制备透射电镜样品的方法

713   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:00:38
本发明提供了一种制备透射电镜样品的方法，包括：提供待观测芯片，所述待观测芯片包含一待观测区域；对所述待观测芯片的正面和/或背面进行减薄，得到初样；将一空心环固定在所述初样正面，所述待观测区域位于所述空心环内；通过干法刻蚀对所述初样进行减薄，得到透射电镜样品。在本发明提供的制备透射电镜样品的方法中，将一空心环固定在减薄处理后的初样上，通过空心环来确定待观测区域，再通过干法刻蚀所述减薄后的初样，从而制备成适合透射电镜观测的样品，形成超大面积的观测区域，满足相关案例需求，填补失效分析技术空白，提高工作效率。
声明：
“制备透射电镜样品的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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