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双工件台长行程测量装置及其使用方法

997   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:00:23
本发明提供一种双工件台长行程测量装置及其使用方法，其用于实时控制硅片台或掩模台等精密工件台的位置以进行精确的光刻加工作业，所述双工件台长行程测量装置包括粗动平面电机装置、两根导轨、两个长行程平面测量装置和控制系统，该装置不仅能够使长行程平面测量装置自动跟随工件台一起沿Y向移动，其长行程平面测量装置中的弹性缓冲装置还能够保证在工件台长行程运动控制失效时，测量传感器不会被损坏，并且仍然能够得到工件台的位置信号并反馈回该装置的控制系统，控制工件台复位回到工作零位。
声明：
“双工件台长行程测量装置及其使用方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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