合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 分析检测技术

> 失效分析技术

> 双工件台长行程测量装置及其使用方法

双工件台长行程测量装置及其使用方法

955   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:00:23
本发明提供一种双工件台长行程测量装置及其使用方法，其用于实时控制硅片台或掩模台等精密工件台的位置以进行精确的光刻加工作业，所述双工件台长行程测量装置包括粗动平面电机装置、两根导轨、两个长行程平面测量装置和控制系统，该装置不仅能够使长行程平面测量装置自动跟随工件台一起沿Y向移动，其长行程平面测量装置中的弹性缓冲装置还能够保证在工件台长行程运动控制失效时，测量传感器不会被损坏，并且仍然能够得到工件台的位置信号并反馈回该装置的控制系统，控制工件台复位回到工作零位。
声明：
“双工件台长行程测量装置及其使用方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
失效分析
上一个：真空测量装置控制系统及半导体加工装置
下一个：远程组合无人值守医用输液监测系统

与 “双工件台长行程测量装置及其使用方法” 相关技术

▪ 工业固废综合回收再利用
▪ 炭浆尾液深度净化与综合利用工程化技术及装备研究
▪ 铝硅合金法提纯硅
▪ 污酸治理方案
▪ 复杂难处理金矿无毒催化提金基础研究
▪ 碱性液硫酸法中和除铝技术
▪ 铬盐生产过程铝钒同步分离与高值化
▪ 溶剂萃取法从钒渣中提钒新工艺
▪ 高温相变蓄热型复合催化剂载体的制备方法
▪ 适用于汽车车身的6XXX铝合金及车身板制备工艺

相关失效分析设备推荐

便携式土壤水分速测仪
汽油动力土钻
土壤定容采样器
北京瑞牛批发GA3000 多气体检测仪
土壤墒情自动监测仪《播种指导》
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪工业固废综合回收再利用
▪炭浆尾液深度净化与综合利用工程化技术及装备研究
▪铝硅合金法提纯硅
▪污酸治理方案
▪复杂难处理金矿无毒催化提金基础研究
▪碱性液硫酸法中和除铝技术
▪铬盐生产过程铝钒同步分离与高值化
▪溶剂萃取法从钒渣中提钒新工艺
▪高温相变蓄热型复合催化剂载体的制备方法
▪适用于汽车车身的6XXX铝合金及车身板制备工艺

报名参会
更多+

2024固态电池前沿技术发展论坛
2024固态电池前沿技术发展论坛
2024年07月12日 ~ 14日
全国有色金属工业电化学第三届学术会议
全国有色金属工业电化学第三届学术会议
2024年07月12日 ~ 14日
先进金属材料研究与智能制造技术应用研讨会
先进金属材料研究与智能制造技术应用研讨会
2024年07月19日 ~ 21日
2024高分子材料合成与表征技术研讨会
2024高分子材料合成与表征技术研讨会
2024年08月01日 ~ 03日
2024再生铝产业技术进步与减污降碳创新研讨会
2024再生铝产业技术进步与减污降碳创新研讨会
2024年08月13日 ~ 15日

报告下载

1 实验室管理与实践
下载:52
2 化学实验室暖通系统设计新趋势
下载:50
3 矿产品样品制备要点与难点分析
下载:44
4 质检部门风险防控管理的探讨 （矿
下载:41
5 ICP-MS/MS测定有色金属中
下载:37
6 电位滴定法在北矿检测实验室的应
下载:33
7 电位滴定仪在有色金属分析的应用
下载:32
8 国家标准《铜精矿及主要含铜物料
下载:32
9 全面禁止洋垃圾入境形势下的固废
下载:32
10 金精矿制样与分析方法的研究
下载:32
第二届关键基础材料模拟、制备与评价技术交流会
推广

热门技术
更多+

1压力平衡机构
2水电站的尾水预埋件
3防爆阀保护膜
4化工矿产有色金属的检测机构
5矿石分类与实时定量分析的光谱检测新方法
6矿石中有色金属成分和含量的检测装置
7有色金属现货状态评估系统及方法
8有色金属废料中铁磁性杂质检测设备及检测工艺
9高温熔体缓冷装置及渣包测温方法
10便携式矿山测量激光仪
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记