合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置:北方有色 >

有色技术频道 >

> 失效分析技术

> 3D NAND存储器位线的电阻测试方法

3D NAND存储器位线的电阻测试方法

898   编辑:管理员   来源:北方有色网  
2023-03-19 09:00:20
一种3D NAND存储器位线的电阻测试方法,包括:提供失效晶圆,所述失效晶圆包括衬底和位于衬底正面上的3D NAND存储器,所述3D NAND存储器包括若干位线和与每个位线相应连接的若干金属插塞;选取多根位线作为目标位线,将多根目标位线通过金属线路连接;从衬底的背面平坦化所述衬底,直至暴露所述与目标位线连接的金属插塞;对目标位线所对应的金属插塞进行测试,获得目标位线的电阻值。本发明的测试方法可以减小3D NAND存储器位线电阻的测试难度,并且能保证测试的精度。
声明:
“3D NAND存储器位线的电阻测试方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
         
咨询细节
标签:
失效分析
有色金属设备
有色金属技术
有色金属企业
有色金属资讯
有色金属价格
有色金属报告
热门分类
矿山安全 | 露天矿山开采的五大防护措施 电动汽车超充时代到来!宁德时代发布神行PLUS电池 欣旺达在固态电池领域取得突破性进展,预计2025年完成产品开发 衡阳市市委书记秦国文到株冶有色调研 开辟新领域!电池企业纷纷布局低空市场 维里迪斯矿业公司稀土矿项目回收率达到世界最高水平 强势上涨!铜价破8万大关,创18年新高 冶金百科 | 有色冶金企业单位产品能源消耗——铝冶金企业单位产品能源消耗 生态环境部印发《固体废物分类与代码目录》,废旧锂电池正式纳入固废管理 萤石小知识 | 萤石产地在哪?萤石矿的伴生矿有哪些? 恩捷股份硫化锂量产获突破 加速固态电池材料国产化进程 班坎金矿凸显潜力,或有望成为几内亚最大金矿 普鲁士蓝的有趣特性:不只是颜料,还可以用来回收金属,做电池及杀死肿瘤细胞? 2025年锂电行业变革:十大关键技术引领行业洗牌 耐普矿机董事长郑昊:选矿设备制造宜向大型化、高端化方向发展 锂离子电池小百科 | 电池标识及电池性能与测试 西工大王锦程团队:难熔高熵合金激光增材制造取得新突破! 小知识 | 什么是钠离子电池?比起锂电池有什么优势? 2024年度邱定蕃有色冶金青年科技奖获奖名单 新技术 | 3D打印与传统加工工艺材料、晶格结构的性能差异 Mysteel统计:2023年全球电解铝企业产量TOP15,中国前7席 冶金百科 | 稀土冶金 - 稀土元素原子半径及离子半径变化规律是什么,何谓镧系收缩? 中国电建以61亿元成功竞得云浮超大砂石矿权 金属百科 | 稀贵金属—“铼” 冶金百科 | 金银冶金 - 金的物理和化学性质是什么? 金的主要化合物有哪些? 特斯拉交付量远低于市场预期,正丧失中国市场主动权 关于皮带机转运溜槽块料检堵解决方案的研究与改进 | 际科工业控制系统(天津)有限公司与您相约湖南长沙第二届金属矿山采矿设备供应商大会暨标准讨论会! 金属材料在芯片工艺上的作用 铜业百科 | 铜及铜合金热处理概述 铜业百科 | 辨别纯铜的方法有哪些
北方有色技术平台

最新更新技术

报名参会
更多+

热门专家
更多+

报告下载

铼产业报告(2026)
推广

热门技术
更多+

衡水宏运压滤机有限公司
宣传

慧博士报告
更多+

环磨科技控股(集团)有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话:
010-88793500-807
专利人/作者信息登记