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用于测试集成电路的探针卡

722   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:00:17
本发明公开了一种用于测试集成电路的探针卡，包括探针座和检测电路板，所述探针上成型有止挡部，止挡部的下端抵靠在一弹性袋壳上，所述弹性袋壳中填充有气体，弹性袋壳上成型有出气口，所述出气口上铰接有密封门，密封门一侧的探针孔侧壁上成型有通气槽，通气槽的侧壁上设有气推活塞块，所述气推活塞块将通气槽分隔为通气区和复位区，所述复位区内设有复位弹簧，所述复位弹簧的一端压靠在气推活塞块上、另一端压靠在通气槽的端部内侧壁上；所述探针孔内插接有竖直的导电片，所述导电片的上端活动连接在止挡部上、下端连接在检测电路板上。本发明结构简单，制造及组装方便，同时能避免传统探针卡内弹簧机械疲劳失效而造成接触不良。
声明：
“用于测试集成电路的探针卡” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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