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适用于TDDB的原位侦测热点方法

1105   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:00:11
本发明提供一种适用于TDDB的原位热点侦测方法，包括：提供待测样品，对所述待测样品的电性参数进行验证；定义应力条件及侦测热点的初始应力条件；对所述待测样品施加应力；观测中间数据，若所述待测样品达到侦测热点的初始应力条件，施加热点侦测电压侦测热点；若侦测到热点，则进行失效分析或继续TDDB测试。本发明中，实现了原位对失效样品热点的侦测，及时精准的反应了样品的失效位置，为进一步失效分析提供了有力保障。
声明：
“适用于TDDB的原位侦测热点方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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