合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 分析检测技术

> 失效分析技术

> 用于确认互连线接触高阻的测试方法

用于确认互连线接触高阻的测试方法

1028   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:00:11
本发明提供了一种用于确认互连线接触高阻的测试方法，包括以下步骤：S1、在一失效样品对应的版图上获取待分析路径，所述失效样品已研磨至当层；S2、在所述失效样品的目标区域上镀上一层保护层；S3、在所述失效样品上形成两个测试通道，两个测试通道分别由所述保护层向下延伸至所述待分析路径的两个测试端口处；S4、采用两针法进行纳米探针测试，将纳米探针伸入所述测试通道并与对应的所述测试端口接触，以确定失效样品的互连线接触高阻位置。通过特殊的样品处理方法以及纳米探针设备的测试特点，能够直接对失效路径上进行测量，从而在怀疑有高阻的互连线上寻找失效位置，找出样品的失效原因，从而推动工艺的改善。
声明：
“用于确认互连线接触高阻的测试方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
失效分析
上一个：互连线接触高阻位置的测试方法
下一个：预测塞拉门控制器寿命的评估方法

与 “用于确认互连线接触高阻的测试方法” 相关技术

▪ 多工位化工粉碎机
▪ 银纳米线批量制备技术
▪ 气体净化膜可控制备及应用关键技术
▪ 高氯高酸重金属废酸的离子交换膜电解新技术
▪ 工艺矿物自动检测新技术合作研究与应用
▪ 稀土荧光粉废料综合利用技术
▪ 铝合金分析用便携式金相显微镜
▪ 工程质量检测用钢筋反向弯曲试验机
▪ 用于振动筛粉机的出料口开关机构
▪ 用于再充式电池组的硅基固体电解质

相关失效分析设备推荐

高智能土壤多参数测试系统
全国土壤墒情监测系统
土壤通气性测定仪
自动土壤水分观测系统
JY-KHP60 滩涂采样套装
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪多工位化工粉碎机
▪银纳米线批量制备技术
▪气体净化膜可控制备及应用关键技术
▪高氯高酸重金属废酸的离子交换膜电解新技术
▪工艺矿物自动检测新技术合作研究与应用
▪稀土荧光粉废料综合利用技术
▪铝合金分析用便携式金相显微镜
▪工程质量检测用钢筋反向弯曲试验机
▪用于振动筛粉机的出料口开关机构
▪用于再充式电池组的硅基固体电解质

报名参会
更多+

冶金工业大气污染治理与低碳减排新技术论坛
冶金工业大气污染治理与低碳减排新技术论坛
2024年07月25日 ~ 27日
第二届关键基础材料模拟、制备与评价技术交流会
第二届关键基础材料模拟、制备与评价技术交流会
2024年07月26日 ~ 28日
2024钠电产业技术创新与应用高峰论坛
2024钠电产业技术创新与应用高峰论坛
2024年08月08日 ~ 10日
2024再生铝产业技术进步与减污降碳创新研讨会
2024再生铝产业技术进步与减污降碳创新研讨会
2024年08月13日 ~ 15日
第三届全国难熔金属及硬质合金技术研讨会
第三届全国难熔金属及硬质合金技术研讨会
2024年08月30日 ~ 09月01日

报告下载

1 实验室管理与实践
下载:52
2 化学实验室暖通系统设计新趋势
下载:50
3 矿产品样品制备要点与难点分析
下载:44
4 质检部门风险防控管理的探讨 （矿
下载:41
5 ICP-MS/MS测定有色金属中
下载:37
6 电位滴定法在北矿检测实验室的应
下载:33
7 浅谈检验检测风险防控管理及要点
下载:32
8 电位滴定仪在有色金属分析的应用
下载:32
9 国家标准《铜精矿及主要含铜物料
下载:32
10 全面禁止洋垃圾入境形势下的固废
下载:32
第二届关键基础材料模拟、制备与评价技术交流会
推广

热门技术
更多+

1压力平衡机构
2水电站的尾水预埋件
3防爆阀保护膜
4化工矿产有色金属的检测机构
5矿石分类与实时定量分析的光谱检测新方法
6矿石中有色金属成分和含量的检测装置
7有色金属现货状态评估系统及方法
8有色金属废料中铁磁性杂质检测设备及检测工艺
9高温熔体缓冷装置及渣包测温方法
10便携式矿山测量激光仪
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记