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用于测试半导体器件的测试针卡以及测试设备

635   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:00:09
本申请公开了一种用于测试半导体器件的测试针卡以及测试设备，涉及电子器件测试技术领域。测试针卡包括：探头以及保护电路，在所述探头中的电流位于第一预设范围内时，所述保护电路的阻值位于第一电阻范围内，在所述探头中的电流位于第二预设范围内时，所述保护电路的阻值位于第二电阻范围内。保护电路的阻值可以在探头中的电流位于第一预设范围内时位于第一电阻范围内，由于第一电阻范围中任一值均较小可以保证被测器件测试结果误差较小，且保护电路的阻值还可以在探头中的电流位于第二预设范围内时位于第二电阻范围内，由于第二电阻范围中任一值均较大可以防止被测器件击穿瞬间电流过大而造成针卡烧针，有利于后续失效分析。
声明：
“用于测试半导体器件的测试针卡以及测试设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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