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表面颗粒检测仪量测平台

630   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:00:01
一种表面颗粒检测仪量测平台，包括：定子结构，呈凹型设置，并在所述定子结构之凹槽内形成所述转子结构之容置空间，且在所述定子结构之凹槽的边沿臂内设置所述导电线圈、第一传感器和偏载磁体；转子结构，悬浮设置在所述定子结构之凹槽内，且在所述定子结构之磁力作用下发生转动；支撑体，设置在所述转子结构之一侧，并用于承载所述待量测之晶圆；第二传感器，间隔设置在所述定子结构之底部。本发明通过设置定子结构和磁悬浮设置在所述定子结构内的转子结构，且在所述转子结构上通过所述承载体承载所述待量测晶圆，不仅有效的避免了所述待量测晶圆的翘曲变形和背面脏污造成真空失效导致的当机，而且提高生产效率，延长设备的正常生产时间。
声明：
“表面颗粒检测仪量测平台” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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