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异常检测方法及装置、电子设备和存储介质

790   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:59:59
本公开是关于一种异常检测方法及装置、电子设备以及计算机可读存储介质，涉及半导体生产测试技术领域，可以应用于确定晶圆测试过程中异常产生原因的场景。该方法包括：获取测试主体的测试数据；确定测试数据对应的至少一测试指标；测试指标包括良率参数、阻值参数以及失效位元区域的一种或多种；确定测试主体在各测试指标下的异常判定结果；根据确定出的异常判定结果确定测试主体出现异常的异常原因类型。本公开通过分析多维度下的晶圆测试结果，快速分析出测试表现异常的原因，并及时预警。
声明：
“异常检测方法及装置、电子设备和存储介质” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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