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磁分析器以及离子注入机

1077   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:59:58
本申请公开了一种磁分析器以及离子注入机，磁分析器包括离子束通道，离子束通道包括飞行区以及合围形成飞行区的第一内壁与顶壁，离子束通道包括第一隔板，第一隔板设置于第一内壁和飞行区之间；其中，第一隔板设置有多个第一通孔，第一隔板和第一内壁之间形成容纳空间。本申请不仅能够大幅降低污染颗粒被携带出磁分析器的几率，继而有效避免离子注入工艺失效，还能极大延长人工维护周期或备件更换周期，从而有效降低维护成本。
声明：
“磁分析器以及离子注入机” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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