本发明提供了一种聚焦离子束分析方法,包括,步骤一:选择待分析样品;步骤二:利用离子束刻蚀所述待分析样品,以获得切割截面;步骤三:利用电子束照射观察是否出现电荷沉积效应,当未出现电荷沉积效应时,获得电子束图像,当出现电荷沉积效应时,在所述切割截面的侧面上形成有机源层之后,重新获得电子束图像;步骤四:判断获得的电子束图像是否显示目标截面,当电子束图像显示非目标截面时,重复步骤二至步骤四,直至获得目标截面;当电子束图像显示为目标截面时,导出获得的电子束图像,并进行失效分析。本发明所述方法可避免电荷沉积效应对失效分析结果的影响。
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