本发明涉及挤出失效监视器结构及其方法。一种用于监视挤出失效的结构和方法。所述结构包括:具有第一和第二端的测试布线;接触所述测试布线的第一和第二端的第一和第二过孔;与所述测试布线电隔离并围绕所述测试布线的周边的第一监视器结构;以及在所述测试布线之上的第二监视器结构,所述第二监视器结构与所述测试布线电隔离,所述第二监视器结构在所述测试布线的至少所述第一端之上延伸。
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