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存储器电路接触孔层次失效点定位方法

1016   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:59:37
本发明公开了一种存储器电路接触孔层次失效点定位方法,是针对无微探针设备的机台，先使用聚焦离子束进行线路修复，将浮空状态的电极短接至附近具有稳定电位的节点，再进行电压衬度分析。本发明所述的方法，使用聚焦离子束将浮空的电极短接至附近稳定电位节点，在电压衬度进行电子束轰击时，浮空电极上积累的电荷能被及时导走，使浮空电极极始终保持稳定的状态，消除其对电压衬度分析时的干扰。
声明：
“存储器电路接触孔层次失效点定位方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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