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功率器件的失效定位方法

821   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:59:36
本发明涉及功率器件的失效分析技术领域，是一种功率器件的失效定位方法。漏电流增大是功率器件失效的主要电学表现形式之一，会大幅度减小器件的使用寿命。本发明提供了一种功率器件的漏电流定位方法。方法包括：对失效功率器件样本进行开封；将开封后的功率器件置于载物台上；固定并调节红外热成像仪，使其显示屏刚好容纳芯片；对功率器件进行电压偏置，找到热点最清晰的偏置电压；对功率器件施加恒定的上述偏置电压，获取该偏置电压下的芯片表面热像图；将上述热像图与芯片物理结构图叠加处理，以准确定位异常漏电流。该方法实施便捷，能精确捕捉热点以及定位失效位置。
声明：
“功率器件的失效定位方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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